19083

Принципы сканирующей зондовой микроскопии. Сканирующий туннельный микроскоп. Атомно-силовой микроскоп

Практическая работа

Физика

ТЕМА 1213 Принципы сканирующей зондовой микроскопии. Сканирующий туннельный микроскоп Атомносиловой микроскоп Сравнительная характеристика различных методов микроскопического исследования поверхности твердых тел Мет...

Русский

2013-07-11

440 KB

21 чел.

ТЕМА 12-13 

Принципы сканирующей зондовой микроскопии.

Сканирующий туннельный микроскоп

Атомно-силовой микроскоп

Сравнительная характеристика различных методов микроскопического исследования поверхности твердых тел

Метод

Увеличение

Рабочая среда

Размерность изображения

Воздействие на образец

Оптическая микроскопия

103

воздух

жидкость

2D

неразрушающий

Лазерное сканирование

104

воздух

жидкость

2D

неразрушающий

Сканирующий электронный микроскоп

106

вакуум

2D

разрушающий

Автоэлектронный и автоионный микроскопы

107-108

вакуум

2D

разрушающий

Просвечивающий электронный микроскоп

107-108

вакуум

2D

разрушающий

Ионный микроскоп

109

вакуум

2D

разрушающий

Сканирующий зондовый микроскоп

109

вакуум

воздух жидкость

3D

неразрушающий

В 1981 г. Герхард Биннинг и Хайнрих Рёрер из лаборатории IBM в Цюрихе представили миру сканирующий туннельный микроскоп (СТМ). С его помощью были получены изображения поверхности кремния атомарного разрешения. В 1986 году за это изобретение была присуждена нобелевская премия.

Развивая идеи, заложенные в СТМ, в 1986 г. Биннинг, Калвин Куэйт и Кристофер Гербер создают атомно-силовой микроскоп (АСМ), благодаря которому были преодолены присущие СТМ ограничения.

Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ) – таково общее название такого типа устройств – используются сегодня в широком диапазоне дисциплин, включающем как фундаментальную науку о поверхности, так и традиционный анализ шероховатости поверхности. Не менее эффективно применение СЗМ-технологий для построения трехмерных изображений – от атомов до микронных образований на поверхности биологических объектов.

Сканирующий зондовый микроскоп – это инструмент с множеством возможностей. Это и профилометр с беспрецедентным разрешением, СЗМ может измерять такие физические свойства, как, например, проводимость поверхности, распределение статических зарядов, магнитных полей и модуля упругости, свойства смазочных пленок и др.

Изображения, получаемые с помощью СЗМ, относятся к разряду создаваемыми микроскопическими методами образами, которые достаточно легко интерпретировать. В случае электронного или оптического микроскопа принцип получения изображения базируется на сложных электромагнитных дифракционных эффектах. Поэтому иногда могут возникнуть трудности при определении того, является ли некоторый элемент микрорельефа впадиной или выступом. Напротив, СЗМ регистрирует достаточно точно трехмерные параметры. На получаемых при помощи оптических или электронных микроскопов изображения, например, плоского образца, состоящего из чередующихся отражающих и поглощающих участков, могут возникать искусственные изменения контрастности. Атомно-силовой микроскоп, в свою очередь, практически безразличен к изменениям оптических или электронных свойств и дает информацию об истинной топографии поверхности.

Все СЗМ содержат компоненты, схематично представленные на рис.1. В конструкции каждого сканирующего зондового микроскопа есть свои отличия. В комплекте прибора могут также присутствовать дополнительные устройства, позволяющие модифицировать базовый блок для решения специальных задач. Однако, общая структура СЗМ остается более или менее одинаковой. В состав СЗМ-комплекса входит компьютер, который управляет работой электромеханической части микроскопа, принимает и записывает регистрируемые зондом данные, производит на их основе построение СЗМ-изображения и, кроме того, позволяет обрабатывать полученное изображение, без чего подчас бывает трудно или вообще невозможно проанализировать наблюдаемую картину.

САМ и СТМ являются на сегодня наиболее распространенными в практике СЗМ-технологиями. Тем не менее, большинство промышленно выпускаемых устройств обычно разработаны таким образом, что добавления к прибору новых функций и возможностей достаточно переоснастить его основной блок, заменив отдельные небольшие части. Иногда единственно необходимым изменением является переключение из одного режима в другой непосредственно в обслуживающей компьютерной программе.

Принцип работы СТМ.

Рассмотрим принцип работы СТМ со схемой триплета. Эта схема состоит из трех брусочков, сделанных из пьезоэлементов, каждый из которых был направлен по одной из трех осей и обеспечивал перемещение в одном из направлений.

В СТМ прецизионные двигатели приближают предельно острую металлическую иглу к проводящей поверхности образца (см.рис.2). Между иглой и поверхностью приложено напряжение от десятых долей до единиц вольта. На расстоянии порядка 10 А между атомами иглы и образца начинается протекание туннельного тока.

Примерная зависимость величины туннельного тока I от расстояния z, при приложенном напряжении V выражается известной формулой:

IkV exp(-cz)

где с, к – постоянные величины слабо зависящие от материала образца и иглы, причем с2,1 1010 м-1. Приведенная выше формула имеет приближенный характер, т.к. существует много факторов, влияющих на величину туннельного тока: поток электронов, форма иглы, толщина пленки воды на поверхности, поверхностные состояния и т.д. Зависимость величины туннельного тока от расстояния между иглой и образцом очень сильная – при напряжении между иглой и образцом около 1 В и изменении расстояния от 15 до 8 А (примернов 2 раза) ток изменяется от единиц пикоампер до десятков наноампер ( 100 раз).

Туннельный ток с помощью предусилителя и АЦП регистрируется компьютером, который, управляя прецизионными двигателями подачи иглы, останавливает ее на такой высоте над образцом, на которой туннельный ток имеет заданную оператором величину. Рабочие значения тока обычно выбираются в пределах нескольких наноампер для металлических и полупроводниковых образцов и порядка 1-100 пикоампер для органических пленок и объектов (чтобы не вызвать разрушение структур этих образцов). После фиксации высоты зависания иглы компьютер может начать сканирование заданной оператором поверхности образца. Шаг сканирования может доходить до десятых долей ангстрема.

Для устранения опасности контакта иглы с поверхностью исследуемого образца или ее ухода из области существования туннельного тока ( примерно 10 А) используют систему обратной связи. Эта система постоянно регистрирует туннельный ток и делает такие поправки высоты зависания иглы (с помощью пьезодвигателя подачи игды), чтобы величина туннельного тока, заданная оператором, оставалась постоянной в каждой точке сканирования. Игла при этом остается на одном и том же расстоянии от поверхности, и коррекция высоты иглы прямо отражает рельеф поверхности образца.

По окончании сканирования в компьютере формируется массив высот поверхности для каждого участка сканирования, по которому строится изображение исследуемой поверхности.

В 1986 году было предложено использовать пьезокерамические трубки со специальной конфигурацией электродов для изготовления сканеров (рис.3).Они позволяют создать центросимметричные конструкции проборов и значительно снизить величину температурного дрейфа. с использованием трубчатых конструкций можно создать сканеры с полями сканирования до 100 мкм при напряжениях на электродах 300 В при длине сканера порядка 80 мм. При этом поперечные резонансные частоты таких сканеров не более 1кГц, что допускает получать и атомарные разрешения.

В сканере данной конструкции возможно перемещение средней точки незакрепленного сканера по сфере радиусом порядка RэффL/2, где L – длина пьезотрубки. При малых размерах скана это почти плоскость. Перемещение осуществляется подачей напряжения в разных плоскостях XYZ пьезотрубки. При этом один сектор трубки сжимается, а другой расширяется, и происходит смещение в плоскости. Перемещение по нормали к поверхности осуществляется подачей напряжения на внутренний электрод относительно всех четырех внешних.

Следует отметить, что поверхность исследуемого образца должна быть проводящей, что естественно, ограничивает сферу применения СТМ. В некоторых случаях для усиления сигнала поверхность образца покрывают тонкими пленками хорошо проводящих металлов, например, золота. Также надо иметь ввиду, что сигнал СТМ отражает распределение электронных плотностей, а не реального рельефа, что может усложнять интерпретацию результатов.

Атомно-силовая микроскопия

Как уже было отмечено ранее, одной из разновидностей СЗМ является атомно-силовой микроскоп (АСМ). Его принцип действия также основан на взаимодействии тонкого острия с поверхностью. Острие изготавливается из кусочка алмаза или кремния и крепится на специальной консоли – кантиливере. Подводом кантиливера к образцу управляет электронное устройство. При приближении иглы к образцу на расстояние в единицы ангстрем на иглу действует Ван-дер-Ваальсовская межатомная сила отталкивания, которая изгибает консоль. Перемещаясь над поверхностью, консоль, изгибаясь, отслеживает рельеф поверхности. Угол изгиба консоли несет информацию о рельефе исследуемой поверхности. Одним из способов регистрации угла изгиба консоли является применение луча лазера, который отражается от обратной кантилеверу стороны консоли и падает на фотодиодный секторный датчик, чувствительный к смещению пятна лазерного луча. Система обратной связи отслеживает изменение сигнала на фотодетекторе и управляет пьезоэлектрическим преобразователем, поддерживая высоту, на которой находится игла, постоянной. По информации, полученной с фотодетектора выстраивается массив данных, по которому восстанавливается изображение поверхности исследуемого образца.

Режимы работы СЗМ

Режим работы СЗМ, при котором фиксируется какой-либо тип физической величины между образцом и зондом, называется модой. Такими величинами могут быть:

  •  электрические токи и их производные;
  •  силы и их производные;
  •  электрические потенциалы;
  •  температура и ее изменение;
  •  излучение и ее спектральный состав.

Измерения этих величин можно производить в различных режимах и различными способами. Условно выделяют контактные, полу контактные и бесконтактные моды сканирования.

К контактным модам относятся режимы сканирования, в которых поверхностные атомы зонда постоянно находятся в потенциале сил отталкивания, обусловленного перекрытием электронных оболочек поверхностных атомов образца и зонда:

  •  контактная АСМ топография – кантилевер скользит над поверхностью, повторяя ее профиль;
  •  СТМ топография – измеряется профиль поверхности при поддержании постоянного тока между образцом и зондом посредством цепи обратной связи;
  •  литография – используя зонд можно механически изменять поверхность образца для создания каких-либо структур.

Полуконтактные методы, в которых кантелевер, колеблющийся на частоте в полосе резонансных колебаний, лишь в нижнем положении входит в состояние контакта, определенного выше. Амплитуда, амплитудно-фазовые характеристики или частота колебаний поддерживаются постоянными в процессе сканирования. К таким модам относится:

  •  Tapping Mode АСМ – измерение топографии путем «простукивания» поверхности с осциллирующим кантелевером;
  •  фазовое измерение – измерение фазы колебания кантилевера относительно фазы возбуждающего сигнала.

Бесконтактные моды, в которых измеряются параметры взаимодействия зонда и образца в условиях, когда электронные оболочки поверхностных атомов и образца не входят в состояния перекрытия электронных оболочек. К таким модам относятся:

  •  бесконтактная АСМ – измерение топографии образца, используя Ван-дер-Ваальсовские силы притяжения между образцом и зондом;
  •  измерение градиента распределения магнитного и электрического поля над поверхностью образца.





10


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

24932. Гражданско-правовая ответственность транспортных организаций за утрату, порчу и повреждение перевозимых грузов 59 KB
  В случае утраты порчи либо повреждения груза надлежащее реальное исполнение обязательства оказывается невозможным. Законодатель точно фиксирует как следует устанавливать размер возмещения ущерба при полной и частичной утрате груза равно как и в случаях его порчи или повреждения. Перевозчики при перевозках грузов возмещают ущерб в следующих размерах: а за утрату или недостачу груза в размере действительной стоимости утраченного или недостающего груза; б за утрату груза сданного с объявленной ценностью в размере объявленной стоимости...
24933. Доверительное управление имуществом. Юридическая природа института доверительного управления 58.5 KB
  ДУ не входит в группу договоров об оказании юридических услуг а представляет собой самостоятельную разновидность гражданскоправового договора. В отношениях ДУ во многих случаях участвует выгодоприобретатель бенефициар который не становится стороной договора. Ни при каких обстоятельствах доверительный управляющий не может стать бенефициаром поскольку это противоречит существу рассматриваемого договора. Понятие договора ДУ.
24934. Гражданско-правовое регулирование совместной деятельности 36 KB
  Совместная деятельность регулируется договором о совместной деятельности договором простого товарищества. Договор простого товарищества По договору простого товарищества о совместной деятельности двое или несколько лиц товарищей обязуются соединить свои вклады и совместно действовать без образования юридического лица для извлечения прибыли или достижения иной не противоречащей закону цели п. По своей юридической природе договор простого товарищества является консенсуальным многосторонним взаимным возмездным и фидуциарным. Договором...
24935. Учредительный договор 36.5 KB
  Учредительный договор Первым законодательным актом Российской империи рекомендовавшим купцам производить торговлю путем образования купеческих товариществ создаваемых на основе договора был Манифест Императора Александра I от 1 января 1807 г. Состав участников учредительного договора зависит от организационноправовой формы создаваемого юридического лица. Существенные условия учредительного договора: об организационноправовой форме создаваемого юридического лица; о порядке совместной деятельности учредителей по его созданию; о...
24936. Обязательства из неосновательного обогащения 58.5 KB
  Функциональное назначение обязательств возникающих из неосновательного обогащения состоит в обеспечении восстановления имущественных потерь потерпевшего приобретателем обогатившемся в результате необоснованного приобретения имущества потерпевшего или сбережения своего имущества за счет потерпевшего. Фактический состав порождающий обязательства из неосновательного обогащения или сбережения имущества состоит из следующих элементов: а одно лицо приобретает или сберегает имущество за счет другого; б имущество приобретается или сберегается...
24937. СУБЪЕКТЫ ПРАВООТНОШЕНИЙ 54 KB
  Идея коллективного участия физических лиц в имущественных отношениях путем образования различного рода объединений которые выступали бы как отдельный субъект права принадлежит еще юристам Древнего Рима хотя римское право еще не знало конструкции юридического лица. Признаки юридического лица это те его свойства которые необходимы и достаточны для того чтобы лицо выступало в качестве самостоятельного субъекта права. Определение юридического лица содержится в п. Основываясь на вышеприведенной дефиниции можно назвать следующие...
24938. Право собственности публично-правовых образований 49 KB
  Право собственности публичноправовых образований. Право собственности предоставляет одинаковые возможности всем своим субъектам. Известные ограничения влекущие особенности правового режима отдельных объектов этого права также по общему правилу являются одинаковыми для всех собственников например строго целевой характер использования находящихся в их собственности земли или других природных ресурсов либо жилых помещений; отчуждение и использование вещей ограниченных в обороте и т. В связи с этим отпадают основания для различия форм...
24939. Вещные права на земельные участки 41.5 KB
  Собственник земельного участка вправе использовать по своему усмотрению все что находится над и под поверхностью этого участка если иное не предусмотрено законами о недрах об использовании воздушного пространства иными законами и не нарушает прав других лиц. Гражданин обладающий правом пожизненного наследуемого владения владелец земельного участка имеет права владения и пользования земельным участком передаваемые по наследству. Если из условий пользования земельным участком установленных законом не вытекает иное владелец земельного...
24940. Понятие и виды ограниченных вещных прав 36.5 KB
  Вещное право включает право собственности и ограниченные вещные права. Право собственности является наиболее широким ограниченным правом но не единственным вещным правом. Отличие от права собственности право на чужую вещь. Право на чужую вещь является не вполне точным выражением.