19219

Ионное распыление. Диссипация энергии атомных частиц при взаимодействии с твердым телом

Лекция

Физика

Лекция № 15. Ионное распыление. Диссипация энергии атомных частиц при взаимодействии с твердым телом. Торможение быстрых частиц в твердом теле. Эмиссия атомных частиц. XV. ИОННОЕ распыление 15.1. Характеристики ионного распыления. Явление распыления твердого ...

Русский

2013-07-11

288.5 KB

9 чел.

Лекция № 15.

Ионное распыление. Диссипация энергии атомных частиц при взаимодействии с твердым телом. Торможение быстрых частиц в твердом теле. Эмиссия атомных частиц. 

XV. ИОННОЕ распыление

§ 15.1. Характеристики ионного распыления.

Явление распыления твердого вещества в виде атомов под действием бомбардировки его поверхности потоком ионов получило название ионного распыления.  Впервые вынос вещества с катода на стенки газоразрядной камеры под действием бомбардировки поверхности катода ионами было обнаружено еще в середине 19-го века (катодное распыление). Ионное распыление принято характеризовать коэффициентом ионного распыления - отношение числа распыленных атомов к числу упавших на поверхность ионов. Количество атомов распыленного вещества , где - масса распыленного вещества, - атомная масса распыленного вещества. Для измерения  можно использовать прямой метод взвешивания либо мишени либо коллектора до начала и после бомбардировки ионами. Однако этот метод не всегда приемлем, так как, как правило,    мало по сравнению с массой мишени и коллектора. Косвенные способы основаны либо на измерении  по изменению свойств поверхности мишени после бомбардировки, либо на ионизации распыленных атомов и измерении тока этих вновь образованных ионов. Для отделения их от первичных ионов используют масс-спектрометры. Количество ионов , где - ток ионов на мишень, измеренный таким образом (с использованием цилиндра Фарадея и запирающих потенциалов), чтобы исключить вклад тока вторичной электронной эмиссии, t – время протекания тока, e – элементарный электрический заряд.

Второй характеристикой распыления является скорость катодного распыления, которую выражают как отношение толщины распыленного слоя мишени  за время : , где - плотность вещества, S – площадь распыления. Иногда скорость распыления выражают не толщиной а массой вещества, распыленного с единицы площади поверхности . Для определения скорости распыления иногда применяют спектрометрический метод. Исследуемые мишени помещаются в плазму газового разряда. Распыленные атомы в плазме возбуждаются. В спектре излучения плазмы выделяют спектр излучения атомов распыленного вещества и по интенсивности спектральных линий определяют коэффициент и скорость распыления.

Эксперименты показывают, что распыляемые с поверхности чистых металлических мишеней частицы в подавляющем большинстве представляют собой нейтральные атомы материала мишени, в виде ионов с поверхности вылетают менее 1% материала мишени. Параметры, влияющие на коэффициент катодного распыления, можно перечислить по степени влияния:

а) энергия ионов;

б) заряд и масса ядра иона;

в) угол падения ионов на поверхность;

г) масса и энергия связи атома мишени;

д) состояние поверхности (пористость, шероховатость, температура, наличие примесей).

Энергетическая зависимость коэффициента распыления  не линейна, на его величину влияет не только количество переданной атомам мишени энергии, но и вероятность их эмиссии с поверхности. Поэтому на зависимости есть максимум и есть пороговая энергия  - минимальная энергия ионов, ниже которой распыления не происходит. Пороговая энергия зависит от энергии связи  атомов мишени с поверхностью и изменяется от (если массы ионов и атомов мишени близки ) до  (если  ). Известны эмпирические формулы для расчета пороговой энергии распыления. При  , где . При  . Таким образом, по мере увеличения энергии падающих ионов  коэффициент Y возрастает, проходит через максимум, положение которого зависит от комбинации ион-мишень, затем убывает. Значения Y  в зависимости от комбинации ион-мишень меняется в широком диапазоне от 10-2 ат/ион (для легких ионов) до 50 ат/ион (для тяжелых ионов).

Зависимость Y от атомных номеров как бомбардирующих ионов Zi, так и атомов мишени Za является немонотонной в силу периодической зависимости от Za энергии связи  атомов мишени. Значения Y минимальны для тугоплавких W, Re, Ta,Zr,Mo,Nb, максимальны для Cu, Ag, Au.

Для расчета коэффициента распыления можно использовать эмпирическую зависимость: .

  С увеличением угла падения вплоть до  коэффициент распыления увеличивается согласно зависимости: , где степень . После достижения максимального значения  при коэффициент распыления резко убывает из-за отражения ионов от поверхности. Энергетический спектр распыленных частиц имеет максимум при значениях порядка . Количество распыленных атомов с энергиями больше  убывает обратно пропорционально квадрату энергии. Угловое распределение  распыленных атомов для нормального падения ионов с большими энергиями подчиняется закону косинуса. При уменьшении энергии ниже 1 кэВ это распределение «прижимается» ближе к поверхности. При наклонном падении ионов наблюдается преимущественное распыление в направлении,  зеркальном по отношению к направлению падения.

§ 15.2. Взаимодействия ионов с веществом

Теории ионного распыления (например, теория Зигмунда) основаны на рассмотрении каскадов упругих столкновений, вызванных передачей кинетической энергии от бомбардирующей частицы атомам мишени. Ион при первом столкновении с атомом вещества передает ему часть своей кинетической энергии, образуя первично выбитый атом, который выбивает вторично выбитый атом и т.д. Этот процесс продолжается до тех пор, пока энергия атомов отдачи не уменьшиться до порогового значения (10-30 эВ) ниже которого не происходит смещения атома из узла кристаллической решетки. В результате один ион с достаточной энергией создает в твердом теле каскад смещенных атомов. По мере увеличения энергии падающих на поверхность ионов возрастает число смещенных атомов, возрастает и энергия смещенных атомов, часть из которых после некоторого числа столкновений в глубине может выйти к поверхности и либо преодолеть поверхностный барьер (выйти из тела), либо выбить поверхностный атом. В результате распыление поверхностных атомов смещенными атомами мишени будет преобладать над распылением первичными ионами. Ионы высоких энергий взаимодействуют не только с атомами двух-трех слоев решетки твердого тела, основную энергию они теряют в глубине. Различают три режима распыления. Режим прямого выбивания (рис.15.1) реализуется при бомбардировке легкими ионами с энергиями вблизи порога , либо при скользящем падении ионов. В этом режиме протяженность каскадов не велика, основной вклад в распыление дают первично выбитые атомы. Режим линейных каскадов  (рис. 15.2) характеризуется малой плотностью распределения выбитых атомов, так что преобладают столкновения в веществе движущихся атомов с неподвижными, а столкновениями движущихся атомов между собой можно пренебречь. Режим нелинейных каскадов (рис. 15.3.) реализуется для ионов с большими массами. Плотность распределения выбитых атомов высока, так что большинство атомов в некоторой области вещества находится в движении.

§ 15.3. Моделирование взаимодействия ионов  с твердым телом .

Численно движение частиц внутри мишени рассчитывается в приближении парных столкновений по методу Монте-Карло (последовательность парных упругих столкновений с атомами среды). Состояние атома до и после столкновения определяется его положением, углами направления движения и энергией. Местоположение атома после следующего столкновения определяется, как:

,  

где , (рис.15.4). Расстояние  до асимптотической точки отклонения от плоскости (интеграл времени), определяется первоначальным положением атома мишени (рис.15.5),  - длина свободного пробега налетающей частицы.

Каждое столкновение характеризуется полярным углом отклонения  и азимутальным углом отклонения . Новое направление частицы после столкновения определяется из следующих уравнений связи:

 

Для вычисления длины свободного пробега между двумя столкновениями используется газовая модель, в которой плотность вероятности для величины распределена следующим образом:

,                                                       (15.1)

где  – атомная плотность мишени, - полное сечение рассеяния.

Из выражения (15.1) следует связь между длиной свободного пробега и случайным числом : , где  - средняя длина свободного пробега. Средняя длина свободного пробега определяется максимально возможным прицельным параметром, который для каждой энергии налетающий частицы выбирается таким образом, чтобы минимальный угол рассеяния был равен заданной величине. Это необходимо для ограничения полного сечения рассеяния:

.  

Рассеянием на меньшие углы при этом пренебрегают. В том случае, если средняя длина свободного пробега оказывается меньше межатомного расстояния, ее выбирают равной межатомному расстоянию . Значения  табулируются в зависимости от энергии налетающей частицы заранее для ускорения процедуры счета.

Динамика парных упругих соударений частиц (массой Мi и координатой )  определяется потенциальной энергией  межчастичного взаимодействия W, ,

для характеристики которой используют различные потенциалы взаимодействия U = W/e. Очевидно, что при соударении несжимаемых тел (например твердых шаров радиуса a ) потенциал имеет ступенчатый характер U(r) = 0 при r a и U(r) = при r < 0. При этом полное сечение взаимодействия  = a2. Наиболее короткодействиющим является потенциал твердых сфер, а наиболее дальнодествующим – кулоновский потенциал. Все остальные потенциалы можно представлять в виде степенных потенциалов вида U 1/rn , где n меняется от единицы до бесконечности, или в виде экранированных кулоновских потенциалов вида или их комбинаций. Для описания взаимодействия налетающих частиц в модели молекулярной динамики используется экранированный Кулоновский потенциал, который записывается в виде:

U(r) = Z1Z2e2.(r/a)/40r

(r/a) – экранирующая функция, обычно аппроксимируется выражением

(r/a) = Si[i]exp(- [i](r/a)), (0) = 1, () = 0

i = 1 - 3 для потенциала Мольера и i = 1 - 4 для потенциала ZBL, [i] и [i]-коэффициенты ( [i] = 1); a - длина экранирования, которая в общем виде запишется:

, где (aB - радиус Бора), Z12 = (Z1x+Z2x)y

зависимости от выбора степеней х и у возможны три основных значения длины экранирования:

a = 0.4685/(Z10.5+Z20.5)2/3

(модель Фирсова)

a = 0.4685/(Z10.33+Z20.33)0.5

(модель Линдхарда)

a = 0.4685/(Z10.23 + Z20.23)

(для потенциала ZBL)

 В случае  центрально симметричного потенциала межчастичного взаимодействия траектория частицы определяется прицельным парметром  и расстоянием наибольшего сближения b. Дифференциальное сечение упругого рассеяния d  = 2d.

 Атом мишени для столкновения определяется внутри диска радиусом . Прицельный параметр и азимутальный угол столкновения определяются путем розыгрыша случайных чисел  и : .

При упругих соударениях любых тел, в том числе и атомных частиц, законы сохранения энергии и импульса приводят к хорошо известному из общей физики распределению сталкивающихся частиц по энергиям в зависимости от угла рассеяния. Выражение для переданной в упругом соударении энергии, которое для первоначально покоившейся частицы соответствует приобретенной ей энергии после соударения:

 (15.2)

Из (15.6) следует, что максимальная преданная в упругом столкновении энергия не может превышать 1М2/(М12)2 от первичной энергии частицы.

При вычислении упругих потерь энергии пренебрегается влиянием неупругих потерь энергии на упругие потери. Для учета влияния энергии связи на поверхности при падении на нее и уходе с нее частицы используется модель планарного поверхностного порога. Начальная энергия и направление движения частицы изменяются в зависимости от энергии связи частицы на поверхности. Если при уходе частицы с поверхности нормальная к поверхности составляющая ее энергии меньше, чем энергия связи частицы на поверхности , то частица «зеркально отражается» обратно. В противном случае частица рассматривается как покинувшая поверхность, причем ее энергия и направления вылета опять же изменяются в зависимости от энергии связи частицы на поверхности.

Частица считается поглощенной, если при своем движении в веществе она затормозилась до заданной энергии остановки .


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

80901. МОДЕЛИ СОЦИАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ И ИХ ХАРАКТЕРИСТИКА 44.37 KB
  Под моделью управления следует понимать теоретически выстроенную целостную совокупность представлений о том как выглядит и как должна выглядеть система управления как она воздействует и как должна воздействовать на объект управления как она адаптируется и как должна адаптироваться к изменениям во внешней среде чтобы управляемая организация могла добиваться поставленных целей устойчиво развиваться и обеспечивать свою жизнеспособность. Модель управления включает в себя базовые принципы управления стратегическое видение целевые установки и...
80902. ХАРАКТЕРИСТИКА СРЕДЫ УПРАВЛЕНИЯ. БЛАГОПРИЯТНАЯ, НЕЙТРАЛЬНАЯ, АГРЕССИВНАЯ СРЕДА УПРАВЛЕНИЯ 43.99 KB
  Среда управления это совокупность внутренних и внешних субъектов сил активно влияющих на положение и перспективы организации на эффективность деятельности менеджеров. Типы среды: микросреда мезосреда макросреда. Микросреда внутр среда организации ее собственный персонал и взаимодействие человека с условиями жизни в личном окружении; Мезосреда среда непосредственного окружения партнеры поставщики потребители или социокультурная среда и сфера труда; Макросреда среда...
80903. ПОНЯТИЕ И КЛАССИФИКАЦИЯ ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В УПРАВЛЕНИИ 44.22 KB
  Об информации информационных технологиях и о защите информации ИТ – процессы методы поиска сбора хранения обработки предоставления распространения информации и способы осуществления таких процессов и методов. Информационная технология ИТ процесс использующий совокупность методов и средств реализации операций сбора регистрации передачи накопления и обработки информации на базе программноаппаратного обеспечения для решения управленческих задач экономического объекта. Особенности ИТ: цель процесса – получение информации; предмет...
80904. ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ СРЕДСТВА ИНФОРМАЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ УПРАВЛЕНЧЕСКОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ 85.5 KB
  ИТ включают в себя методы преобразования информации по заданному свойству в заданном направлении, что реализуется соответствующими средствами, называемыми инструментальными. Они включают в себя необходимый технических комплекс и соответствующее программное обеспечение, образуя сложные программно - аппаратные компьютерные системы с разнообразными функциями и возможностями поддержки управленческой деятельности.
80905. ГОСУДАРСТВЕННАЯ ИНФОРМАЦИОННАЯ ПОЛИТИКА (ГИП), ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ИНФОРМАТИЗАЦИИ ГОСУДАРСВТЕННОГО И МУНИЦИПАЛЬНОГО УПРАВЛЕНИЯ 46.21 KB
  ГИП комплекс политических правовых экономических социальнокультурных и организационных мероприятий государства направленный на обеспечение конституционного права граждан на доступ к информации. ГИП это особая сфера жизнедеятельности людей связанная с воспроизводством и распространением информации удовлетворяющей интересы государства и гражданского общества и направленная на обеспечение творческого конструктивного диалога между ними и их представителями. Различают аспекты ГИП: технологический регулирование процесса развития...
80906. ФУНКЦИОНАЛЬНОЕ РАЗДЕЛЕНИЕ УПРАВЛЕНЧЕСКОГО ТРУДА 46.33 KB
  Он основан на функциональном профессиональном квалификационном и операционнотехнологическом разделении труда. Функциональное разделение труда основывается на формировании групп работников управления выполняющих одинаковые общие функции менеджмента. Наряду с этим функциональное разделение труда предполагает выделение из общего состава менеджеров специалистов которые отвечают за процесс управления в целом а не за какуюто одну функцию.
80907. Психологический аспект в работе с инвалидами 25.75 KB
  Это связано прежде всего с дефектами их физического состояния вызванного заболеваниями приведшими к инвалидности а также с имеющимся комплексом сопутствующей соматической патологии и с пониженной двигательной активностью характерными для большинства инвалидов. Психологические проблемы возникают при изолированности инвалидов от внешнего мира как вследствие имеющихся недугов так и в результате неприспособленности окружающей среды для инвалидов на креслоколясках при разрыве привычного общения в связи с выходом на пенсию при наступлении...
80908. Основное содержание и виды реабилитации инвалидов 30.05 KB
  Реабилитация больных и инвалидов представляет собой комплексную систему государственных медицинских психологических социальноэкономических педагогических производственных бытовых и других мероприятий. Профессиональная реабилитация предусматривает обучение или переобучение доступным формам труда обеспечение необходимыми индивидуальными техническими приспособлениями для облегчения пользования рабочим инструментом приспособление прежнего рабочего места больного или инвалида к его функциональным возможностям организацию для инвалидов...
80909. Формы социальной поддержки детей-инвалидов 34.02 KB
  Особенности реабилитации детей с ограниченными возможностями заключаются в том что в процессе реабилитации необходимо предусмотреть не только ликвидацию или коррекцию дефекта вызванного заболеванием но и обеспечение развития других функций формирование которых может быть задержано в связи с болезнью. В настоящее время изза отсутствия государственной системы реабилитации детейинвалидов звенья реабилитационного процесса нескоординированы...