19856

Принцип действия атомно-силового микроскопа (АСМ). Схема реализации обратной связи в АСМ

Лекция

Физика

Лекция 21 Принцип действия атомносилового микроскопа АСМ. Схема реализации обратной связи в АСМ. Параметры кантилеверов в АСМ. Контактные и бесконтактные методики измерения. Атомносиловой микроскоп АСМ был изобретён в 1986 году Гердом Биннигом Кэлвином Куэйтом и Кри...

Русский

2013-07-18

878.5 KB

28 чел.

Лекция 21

Принцип действия атомно-силового микроскопа (АСМ). Схема реализации обратной связи в АСМ. Параметры кантилеверов в АСМ. Контактные и бесконтактные методики измерения.

Атомно-силовой микроскоп (АСМ) был изобретён в 1986 году Гердом Биннигом, Кэлвином Куэйтом и Кристофером Гербером. В основе работы АСМ лежит силовое взаимодействие между зондом и поверхностью, для регистрации которого используются специальные зондовые датчики, представляющие собой упругую консоль с острым зондом на конце – рис. 21.1. Сила, действующая на зонд со стороны поверхности, приводит к изгибу консоли. Регистрируя величину изгиба, можно определить силу взаимодействия зонда с поверхностью.

Рис. 21.1

Получение АСМ изображений рельефа поверхности связано с регистрацией малых изгибов упругой консоли зондового датчика. В атомно-силовой микроскопии для этой цели используются оптические методы – рис. 21.1.

Рис. 21.2

Оптическая система АСМ юстируется таким образом, чтобы излучение полупроводникового лазера фокусировалось на консоли зондового датчика, а отраженный пучок попадал в центр фоточувствительной области фотоприемника. В качестве позиционно-чувствительных фотоприемников применяются четырехсекционные полупроводниковые фотодиоды. Соответствие между типом изгибных деформаций консоли зондового датчика и изменением положения пятна засветки на фотодиоде показано на рис. 21.3.

Рис.21.3

Основные регистрируемые оптической системой параметры – это деформации изгиба консоли под действием Z-компонент сил притяжения или отталкивания (FZ) и деформации кручения консоли под действием латеральных компонент сил (FL) взаимодействия зонда с поверхностью. Если исходные значения фототока в секциях фотодиода I01, I02, I03, I04, а I1, I2, I3, I4 – значения токов после изменения положения консоли, то разностные токи с различных секций фотодиода ΔIi = Ii  I0i однозначно характеризуют величину и направление изгиба консоли зондового датчика АСМ.

Это следует из того, что разность токов вида

I1 + ΔI2) – (ΔI3 + ΔI4) = ΔIZ

пропорциональна изгибу консоли под действием силы, действующей по нормали к поверхности образца (рис. 21.3а). А комбинация разностных токов вида

I1 + ΔI4) – (ΔI2 + ΔI3) = ΔIL

пропорциональна изгибу консоли под действием латеральных сил (рис. 21.3б).

Величина ΔIZ используется в качестве входного параметра в петле обратной связи атомно-силового микроскопа. Система ОС обеспечивает ΔIZ = const с помощью пьезоэлектрического исполнительного элемента, который поддерживает изгиб консоли ΔZ равным величине ΔZ0, задаваемой оператором АСМ. Схема реализации обратной связи приведена на рис. 21.4.

Рис.21.4

При сканировании образца в режиме ΔZ = const зонд перемещается вдоль поверхности, при этом напряжение на Z-электроде сканера записывается в память компьютера в качестве рельефа поверхности Z = f(x,y). Пространственное разрешение АСМ определяется радиусом закругления зонда и чувствительностью системы, регистрирующей отклонения консоли. В настоящее время реализованы конструкции АСМ, позволяющие получать атомарное разрешение при исследовании поверхности образцов.

Зондирование поверхности в атомно-силовом микроскопе производится с помощью специальных зондовых датчиков, представляющих собой упругую консоль – кантилевер с острым зондом на конце (рис. 21.5). Датчики изготавливаются методами фотолитографии и травления из кремниевых пластин. Упругие консоли формируются, в основном, из тонких слоев легированного кремния: SiO2 или Si3N4.

   Рис. 21.5

Один конец кантилевера жестко закреплен на кремниевом основании - держателе. На другом конце консоли располагается собственно зонд в виде острой иглы. Радиус закругления современных АСМ зондов составляет 1 ÷ 50 нм в зависимости от типа зондов и технологии их изготовления. Угол при вершине зонда - 10 ÷ 20 º.

Силу взаимодействия зонда с поверхностью F можно оценить следующим образом:

F = k ΔZ,

где k – жесткость кантилевера; ΔZ – величина, характеризующая его изгиб.

Коэффициенты жесткости кантилеверов k варьируются в диапазоне 10-3-10 Н/м в зависимости от используемых при их изготовлении материалов и геометрических размеров.

При работе зондовых АСМ датчиков в колебательных режимах важны резонансные свойства кантилеверов. Собственные частоты изгибных колебаний консоли длиной l прямоугольного сечения площадью S определяются следующей формулой

,

где Е – модуль Юнга; J – момент инерции консоли; ρ – плотность материала; λi – численный коэффициент (в диапазоне 1÷100), зависящий от моды изгибных колебаний.

Как следует из данного выражения, резонансная частота кантилевера определяется его геометрическими размерами и свойствами материала. Частоты основных мод кантелеверов, используемых в АСМ, лежат в диапазоне 10÷1000 кГц. Добротность кантилеверов, в основном, зависит от той среды, в которой они работают. Типичные значения добротности при работе в вакууме составляют 103 – 104, на воздухе 300 – 500, а в жидкости 10 – 100.

В атомно-силовой микроскопии применяются, в основном, зондовые датчики двух типов – с кантилевером в виде балки прямоугольного сечения и с треугольным кантилевером, образованным двумя балками. Общий вид зондовых датчиков с обоими типами кантилеверов приведен на рис. 21.6.

Рис.21.6

Зондовые датчики с треугольным кантилевером имеют при тех же размерах большую жесткость и, следовательно, более высокие резонансные частоты. Чаще всего они применяются в колебательных АСМ методиках.

Общий вид зондового датчика показан на электронно-микроскопическом изображении, приведенном на рис. 21.7. Изготовление зондовых датчиков для АСМ представляет собой достаточно сложный технологический процесс, включающий в себя операции фотолитографии, ионной имплантации, химического и плазменного травления.

 Рис.21.7

Методы получения информации о рельефе и свойствах поверхности с помощью АСМ можно разбить на две большие группы – контактные (квазистатический режим) и бесконтактные (колебательный режим).

В контактных методиках остриё зонда находится в непосредственном соприкосновении с поверхностью, при этом силы притяжения и отталкивания, действующие со стороны образца, уравновешиваются силой упругости консоли. При работе АСМ в таких режимах используются кантилеверы с относительно малыми коэффициентами жесткости, что позволяет обеспечить высокую чувствительность и избежать нежелательного чрезмерного воздействия зонда на образец.

В квазистатическом режиме работы АСМ изображение рельефа исследуемой поверхности формируется либо при постоянной силе взаимодействия зонда с поверхностью (сила притяжения или отталкивания), либо при постоянном среднем расстоянии между основанием зондового датчика и поверхностью образца.

При сканировании образца в режиме Fz = const система обратной связи поддерживает постоянной величину изгиба кантилевера, а, следовательно, и силу взаимодействия зонда с образцом. При этом управляющее напряжение в петле обратной связи, подающееся на Z-электрод сканера, будет пропорционально рельефу поверхности образца.

При исследовании образцов с малыми (порядка единиц ангстрем) перепадами высот рельефа часто применяется режим сканирования при постоянном среднем расстоянии между основанием зондового датчика и поверхностью (Z = const). В этом случае зондовый датчик движется на некоторой средней высоте Zср над образцом, при этом в каждой точке регистрируется изгиб консоли ΔZ, пропорциональный силе, действующей на зонд со стороны поверхности. АСМ изображение в этом случае характеризует пространственное распределение силы взаимодействия зонда с поверхностью.

С помощью атомно-силового микроскопа можно изучать особенности локального силового взаимодействия зонда с поверхностью и на основании результатов данных исследований судить о свойствах поверхности различных образцов. С этой целью снимаются т.н. кривые подвода зонда к поверхности и кривые отвода – зависимости величины изгиба кантилевера ΔZ (а следовательно, и силы взаимодействия зонда с поверхностью) от координаты z при сближении зондового датчика и образца. Аналогичные измерения проводятся при удалении зонда от поверхности.

При приближении к поверхности образца зонд попадает в область действия сил притяжения. Это вызывает изгиб кантилевера в направлении к поверхности. В этой области может наблюдаться явление скачка зонда к поверхности, обусловленное наличием большого градиента сил притяжения вблизи поверхности образца. Для наблюдения эффекта скачка зонда к поверхности необходимо, чтобы жесткость выбранного кантилевера была меньше, чем максимум производной силы по координате z.

При дальнейшем сближении зондового датчика и образца зонд начинает испытывать отталкивание со стороны поверхности, и кантилевер изгибается в другую сторону. Наклон кривой ΔZ = f(z) на этом участке определяется упругими свойствами образца и кантилевера. Если взаимодействие зонда и образца абсолютно упругое, то зависимость изгиба кантилевера от расстояния датчик-поверхность, регистрируемая на обратном ходе, совпадает с зависимостью, получаемой на прямом ходе. Для мягких (пластичных) образцов, таких как пленки органических материалов, биологические структуры и др., а также для образцов, на поверхности которых находятся адсорбированные слои различных материалов, кривые ΔZ = f(z) имеют более сложный характер. В этом случае на вид зависимости существенное влияние оказывают эффекты капиллярности и пластичности.

Недостатком контактных АСМ методик является непосредственное механическое взаимодействие зонда с поверхностью. Это часто приводит к поломке зондов и разрушению поверхности образцов. Кроме того, контактные методики практически не пригодны для исследования образцов, обладающих малой механической жесткостью (структуры на основе ряда органических материалов и многие биологические объекты). Для исследования таких образцов применяются колебательные АСМ методики, основанные на регистрации параметров взаимодействия колеблющегося кантилевера с поверхностью. Данные методики позволят существенно уменьшить механическое воздействие зонда на поверхность в процессе сканирования.

Точное описание колебаний кантилевера зондового датчика АСМ представляет собой весьма сложную математическую задачу. С целью упрощения задачи, рассмотрим процессы, происходящие при взаимодействии колеблющегося кантилевера с поверхностью, в рамках модели сосредоточенной массы. Пусть имеется кантилевер в виде упругой консоли с жесткостью k, с сосредоточенной массой m на одном конце. Другой конец консоли закреплен на пьезовибраторе ПВ – рис. 21.8.

     Рис.21.8

Если пьезовибратор совершает гармонические колебания u = u0cosωt с частотой ω, тогда уравнение движения такой колебательной системы имеет вид

,

где член, пропорциональный первой производной по времени, учитывает силы вязкого трения со стороны воздуха, а посредством F0 обозначена сила тяжести и другие возможные постоянные силы.

Как известно, постоянная сила лишь смещает положение равновесия системы и не влияет на частоту, амплитуду и фазу колебаний. Делая замену переменных z = z + F0/k (т.е. рассматривая колебания относительно нового состояния равновесия), можно привести уравнение движения кантилевера к виду:

.

Разделив уравнение на m и введя параметр добротности системы Q = 0m/γ, получим уравнение движения в следующем виде:

.

Амплитудно-частотная (АЧХ) и фазо-частотная (ФЧХ) характеристики кантилевера, отвечающие данному уравнению, приведены на рис. 21.9.

Величина rd, определяющая сдвиг относительно резонансной частоты 0 находится из соотношения rd2 = 02(1 –

Рис.21.9       1/2Q2).

Для типичных значений добротности кантилеверов в воздушной среде величина сдвига резонансной частоты вследствие диссипации мала. Влияние диссипации сводится, в основном, к существенному уменьшению амплитуды колебаний и уширению амплитудно-частотной и фазо-частотной характеристик системы.

В бесконтактном режиме кантилевер совершает вынужденные колебания с малой амплитудой порядка 1 нм. При приближении зонда к поверхности на кантилевер начинает действовать дополнительная сила со стороны образца. При ван-дер-ваальсовом взаимодействии это соответствует области расстояний между зондом и образцом, где действует сила притяжения. Появление такой дополнительной силы немного модифицирует вышеприведенные уравнения и в результате АЧХ и ФЧХ приобретают вид, который показан на рис. 21.10.

Рис.21.10

Дополнительный сдвиг фазы при наличии градиента силы определяется из условия

.

Как следует из этого выражения, чем выше добротность системы, тем больше фазовый сдвиг. Добротность будет выше, если измерительное устройство поддерживается при низком давлении, так как в этом случае получаются меньшие значения γ, поэтому "вакуумные" АСМ с точки зрения определения фазового сдвига являются более предпочтительными.

Регистрация изменения амплитуды и фазы колебаний кантилевера в бесконтактном режиме требует высокой чувствительности и устойчивости работы обратной связи. На практике чаще используется т.н. полуконтактный режим колебаний кантилевера (иногда его называют прерывисто-контактный, а в иностранной литературе - "intermittent contact" или "tapping mode" режимы). При работе в этом режиме возбуждаются вынужденные колебания кантилевера вблизи резонанса с амплитудой порядка 10 – 100 нм. Кантилевер подводится к поверхности так, чтобы в нижнем полупериоде колебаний происходило касание поверхности образца.

При сканировании образца регистрируется изменение амплитуды и фазы колебаний кантилевера. Взаимодействие кантилевера с поверхностью в полуконтактном режиме состоит из ван-дер-ваальсового взаимодействия, к которому в момент касания добавляется упругая сила, действующая на кантилевер со стороны поверхности.

Формирование АСМ изображения поверхности в режиме колебаний кантилевера происходит следующим образом. С помощью пьезовибратора возбуждаются колебания кантилевера на частоте ω (близкой к резонансной частоте кантилевера) с амплитудой Аω. При сканировании система обратной связи АСМ поддерживает постоянной амплитуду колебаний кантилевера на уровне A0, задаваемом оператором (A0 < Аω). Напряжение в петле обратной связи (на z-электроде сканера) записывается в память компьютера в качестве АСМ изображения рельефа поверхности. Одновременно при сканировании образца в каждой точке регистрируется изменение фазы колебаний кантилевера, которое записывается в виде распределения фазового контраста.


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

5959. Политика финансовой стабилизации в РФ. Государственный долг РФ 14.37 KB
  Политика финансовой стабилизации в РФ. Государственный долг РФ. Предполагает обеспечение сохранности рыночного механизма и условий его нормальной работы. Это достигается путём осуществления комплекса мер по борьбе с монополизацией, инфляцией и безра...
5960. Форми організації виховного процесу 72.16 KB
  Форми організації виховного процесу Загальна характеристика форм виховання та їх класифікація Аналіз педагогічної літератури і практики свідчить, що молоді вчителі найбільше труднощів зустрічають в організації виховної роботи...
5961. Форма воспитательной работы по Титовой Е.В и Б.В. Куприянову 141.5 KB
  Фотма воспитательной работы по Титовой Е.В и Б.В. Куприянову. Классификация форм воспитательной работы Вопрос классификации форм воспитательной работы является отнюдь не новым. Определенные основы решения этого вопроса заложены Е.В. Титовой в работе...
5962. Сущность и содержание воспитательной работы в Вооруженных Силах Республики Беларусь 89.5 KB
  Сущность и содержание воспитательной работы в Вооруженных Силах Республики Беларусь Воспитательная работа - это система мер и мероприятий по воздействию на сознание, мировоззрение, волю и чувства военнослужащих (гражданского персонала) в целях ...
5963. Формы воспитательной работы и воспитания 59.5 KB
  Формы воспитательной работы Формы воспитания - это способы организации воспитательного процесса, способы организации коллективной и индивидуальной деятельности учащихся. В педагогической науке не существует единого мнения о формах воспитательной раб...
5964. Как реализовать воспитательные возможности литературы 45.5 KB
  Как реализовать воспитательные возможности литературы Вопрос у меня важный и нужный. Действительно, вся литература, особенно русская литература, направлена на воспитание человека как личности, учит человека жить по совести. Что стоят такие слова...
5965. Карантин, как начальный этап адаптации несовершеннолетних, осужденных к лишению свободы 59 KB
  Карантин, как начальный этап адаптации несовершеннолетних, осужденных к лишению свободы. Адаптация осужденных к лишению свободы несовершеннолетних начинается с момента прибытия осужденного в воспитательную колонию. Первым этапом адаптации является к...
5966. Ядерное оружие. Внеклассное мероприятие 63.5 KB
  В Лицее №1 г. Южно-Сахалинска для 10б класса был прочитан доклад на тему Ядерное оружие, посвященный дню защитника отечества. Цель доклада: проинформировать учащихся о истории создания, поражающих факторах ядерного оружия и защиты от них. Время, о...
5967. Проектирование редуктора с заданными параметрами 359 KB
  Исходные данные для проектирования. Тяговая сила цепи Ft - 600 даН - 6 кН. Скорость движения грузовой цепи v = 0,85 м/с. Шаг грузовой цепи p = 125 мм. Число зубьев звездочки z = 7. Тип редуктора - соосный вертикальный цилиндрический. Передача пр...