19861

Физические основы метода Оже-электронной спектроскопии. Необходимое оборудование. Модуляционная методика в Оже-электронной спектроскопии

Лекция

Физика

Лекция 26 Физические основы метода Ожеэлектронной спектроскопии. Необходимое оборудование. Модуляционная методика в Ожеэлектронной спектроскопии. В прошлом семестре был подробно рассмотрен процесс Ожеэлектронной эмиссии. Кратко напомним схему образования Ожеэле

Русский

2013-07-18

189 KB

10 чел.

Лекция 26

Физические основы метода Оже-электронной спектроскопии. Необходимое оборудование. Модуляционная методика в Оже-электронной спектроскопии.

В прошлом семестре был подробно рассмотрен процесс Оже-электронной эмиссии. Кратко напомним схему образования Оже-электронов. Часть энергии электрона пучка, облучающего образец, может быть передана электрону внутренних оболочек атома. Образовавшаяся за счет ионизации электронным ударом вакансия на оболочке атома через короткое время (~ 10-16 с) заполняется электроном одного из вышележащих уровней. Избыток энергии может пойти на испускание рентгеновского кванта или передан третьему электрону, который может быть испущен атомом. Схема, иллюстрирующая этот процесс, приведена на рис. 26.1.

В случае ионизации К-оболочки возможен Оже-переход (например, KL1L2,3, изображенный на рисунке), либо испускание кванта характеристического рентгеновского излучения Кα1 или Кα2. То, что энергия Оже-электрона определяется энергиями связи электронов атомных оболочек, лежит в основе метода элементного анализа, называемого Оже-Электронной Спектроскопией (ОЭС, в зарубежной литературе AES).

Поскольку для Оже-процесса нужны, по крайней мере, два энергетических уровня и три электрона, поэтому в атомах Н и Не Оже-электроны возникать не могут. Точно так же не могут быть источниками Оже-электронов изолированные атомы Li, имеющие на внешней оболочке один электрон. Все остальные элементы могут быть идентифицированы методом ОЭС. Наиболее вероятные Оже-переходы, наблюдаемые в ОЭС, это переходы KLL, LMM, MNN. Несмотря на то, что в изолированных атомах Li Оже-процесс невозможен, в твердом теле за счет обобществления валентных электронов возможны переходы типа KVV с участием валентных электронов. Это позволяет определять литий в различных соединениях методом ОЭС.

Метод ОЭС позволяет получать информацию только о составе приповерхностных слоев образца. Причиной этого является малая средняя длина свободного пробега электронов с энергией, типичной для Оже-электронов (50 – 2000 эВ) вследствие их интенсивного неупругого рассеяния в твердом теле. Оже-электроны, возникшие в глубине образца и отдавшие энергию на возбуждение плазменных колебаний, на возбуждение внутренних оболочек или на межзонные переходы, исключаются из наблюдаемых характеристических Оже-пиков и становятся частью фона отраженных электронов, на который накладываются Оже-пики.

На рис. 26.2 приведена зависимость глубины выхода Оже-электронов, отвечающих различным переходам в различных атомах, от их энергии. Глубина выхода слабо зависит от состава образца, так как основные механизмы потерь включают в себя возбуждение электронов валентной зоны, а плотность валентных электронов не является сильно меняющейся функцией атомного номера. Фактически, вклад в наблюдаемые Оже-пики дают только Оже-электроны, испущенные атомами поверхности и приповерхностных слоев (2 – 5 монослоев). В силу этого, метод ОЭС чувствителен к составу атомов на поверхности и нескольких приповерхностных слоев образца. Уже при наличии на поверхности исследуемого образца одного монослоя адсорбата, атомы, составляющие адсорбат, доминируют в Оже-спектре.

Для реализации метода ОЭС требуется сверхвысоковакуумная камера, в которой размещены:

  •  механизм подачи образца;
  •  электронная пушка;
  •  энергоанализатор для регистрации спектра электронов;
  •  ионный источник для очистки поверхности образца.

Так как ОЭС является поверхностно чувствительным методом, то измерения Оже-спектров необходимо проводить в условиях сверхвысокого вакуума. Обычно давление в аналитической камере у выпускаемых Оже-спектрометров 10-9 Тор. Так как получение такого давления после вскрытия камеры на атмосферу требует длительного времени (~ десятка часов), то используется шлюзовой механизм подачи образца в аналитическую камеру, обеспечивающий ввод образца с атмосферы через промежуточную вакуумную камеру с давлением ~ 10-5 - 10-6 Тор. Таким образом, аналитическая вакуумная камера вскрывается на атмосферу только в экстренных случаях (например, замена катода у электронной пушки).

Электронная пушка, обычно с W термоэмиттером, обеспечивает ток электронов на образец до нескольких десятков мкА при ускоряющих напряжениях до 10 кВ. Диаметр электронного пучка на образце обычно составляет 0.5 – 1 мм.

В качестве энергоанализатора применяются электростатические энергоанализаторы с разрешением Е 10-3-10-4:

  •  цилиндрическое зеркало (АЦЗ);
  •  сферический дефлектор обычно с углом раствора 180о (т.н. полусферический анализатор - ПСА).

Основные отличия АЦЗ и ПСА, заключаются в следующем. В АЦЗ полный телесный угол сбора электронов составляет около 1 ср, тогда как в обычных ПСА он составляет около 10-2 ср. Таким образом светосила АЦЗ примерно в 100 раз больше, чем у ПСА. Естественно, что больший угол сбора приводит к увеличению интенсивности сигнала в спектрометрах с анализатором типа цилиндрическое зеркало. Однако, разрешающая способность ПСА обычно в 2–3 раза лучше для того же отношения сигнала к шуму в спектре, чем при использовании АЦЗ.

На рис. 26.3 приведена схема измерения спектров Оже-электронов с помощью АЦЗ.

Первичный электронный пучок облучает образец – 1. Энергетический спектр вылетающих из образца электронов измеряется АЦЗ, состоящего из внутренних -2 и внешнего -3 коаксиального электрода, между которыми приложена разность потенциалов, определяющая энергию прохождения электронов через АЦЗ (красным цветом показаны две возможные траектории - 4). Регистрация электронов прошедших АЦЗ осуществляется детектором – 5 (обычно канальный электронный умножитель или микроканальная пластина). Весь анализатор помещен в экран – 6, экранирующий действие внешних магнитных полей, могущих привести к искажению движения электронов в энергоанализаторе.

В настоящее время большинство выпускаемых Оже-спектрометров оснащается полусферическим дефлектором, схема измерения которым приведена на рис. 26.4.

Развертка спектра в полусферическом анализаторе энергий может осуществляться двумя способами. В режиме постоянного задерживающего потенциала между входной и промежуточной линзой подается постоянное напряжение задержки s, а развертка по энергии электронов производится изменением напряжения V0 между полусферами. Этот режим используется для анализа электронов с малыми энергиями (до 150 эВ), так как в этом случае задерживающим напряжением отсекается интенсивный пик низкоэнергетичных вторичных электронов, и, как следствие, повышается чувствительность и разрешение.

В режиме постоянного потенциала напряжение между полусферическими электродами остается постоянным, а развертка по энергии электронов осуществляется изменением напряжения задержки. Этот режим обычно применяется для анализа электронов с энергиями свыше 150 эВ.

В качестве детекторов на выходе анализатора используется вторичный электронный умножитель (ВЭУ).

Так как Оже-пики проявляются в энергетическом спектре на большом фоне, обусловленном отраженными электронами, то часто для их записи применяется т.н. модуляционная техника. Суть ее в следующем. Энергия электронов, проходящих через энергоанализатор, определяется разностью потенциалов между его обкладками U0. Изменением этого напряжения осуществляется развертка спектра. Если же напряжение развертки имеет вид U0 + Usint, где амплитуда U<< U0, то в этом случае будет осуществляться аппаратное дифференцирование спектра: сигнал, поступающий с выхода синхронного детектора, настроенного на частоту 2 пропорционален dN 2(E)/dE2. Использование модуляционной методики позволяет значительно повысить величину отношения сигнал/шум в регистрируемом спектре.

Принципиальная схема модуляционной методики приведена на рис. 26.5.

На рис. 26.6 приведены Оже-спектры хрома, снятые с применением модуляционной методики на разных типах энергоанализаторов.

Ионный источник используется для очистки поверхности образца за счет ионного травления. Стандартная схема расположения ионного и электронного пучка приведена на рис. 26.4. Ионное травление в ОЭС используется не только для очистки поверхности образцов перед измерением, но и для получения профилей изменения состава образца по глубине. Ионный пучок создает на поверхности образца кратер, диаметр которого (5-20 мм) намного больше диаметра электронного зонда (~ 0,5 мм). Профиль концентрации по глубине получают путем непрерывной регистрации элементного состава на дне кратера в ходе распыления (или после прекращения травления). Ионная бомбардировка, проводимая одновременно с электронной, оказывает малое влияние на Оже-анализ, поскольку число вторичных электронов, возбуждаемых ионным пучком, намного меньше, чем при возбуждении первичным электронным пучком.

d 2N/dE2

энергия электронов, эВ

лектроды АЦЗ

Рис.26.5

Выходные щели

Предваритель-ный усилитель

Детектор

Usint

U0

   dN 2/dE2

              E

Синхронный детектор

Образец

электронная пушка

V0

Рис.26.4

Образец

Электронный пучок

Ионный пучок

Полусферические электроды

Рис.26.4

Образец

s

Входная линза

Промежуточная линза

ВЭУ

Выходная

щель

Входная

щель

Рис. 26.3

Рис. 26.2

INCLUDEPICTURE "ЛАБОРАТОРНАЯ%20РАБОТА_оже.files/image009.jpg" \* MERGEFORMAT

Рис. 26.1

Оже-электрон

электрон пучка

ħω

Рис. 26.6

Вакуум

K

L1

L2,3

V


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

11503. Формирование сложных запросов 50.5 KB
  Лабораторная работа №4. Формирование сложных запросов. Задание: Разработайте запрос с параметрами о студентах заданной группы в котором при вводе в окно параметров номера группы на экран должен выводиться состав этой группы. Создайте запрос в котором выводя...
11504. Создание сложных форм и запросов 58.5 KB
  Лабораторная работа №5. Создание сложных форм и запросов. Задание 1. Создание сложных форм. 1. Создайте сложную форму в которой с названиями дисциплин была бы связана подчиненная форма Студенты и подчиненная форма Оценки студентов. 2. Измените расположение элементов ...
11505. ПОВЕРКА МИЛЛИВОЛЬТМЕТРОВ 21.94 KB
  Поверка милливольтметра Поверку милливольтметров производят путём сравнения их показаний с показаниями образцового потенциометра. Поверка милливольтметра заключается во внешнем осмотре прибора в определении погрешности и вариации показаний по милливольтовой и г
11506. ПРОВЕРКА АВТОМАТИЧЕСКОГО МОСТА 25.22 KB
  Методика и порядок проведения поверки В условиях учебной лаборатории при испытании мостов проводят их внешний осмотр определяют характер успокоения подвижной системы прибора основную погрешность вариацию показаний порог чувствительности время прохождения указат...
11507. ИЗУЧЕНИЕ И ИСПЫТАНИЕ АВТОМАТИЧЕСКИХ ПОТЕНЦИОМЕТРОВ 21.1 KB
  Методика и порядок проведения поверки В учебной лаборатории при испытании автоматических потенциометров проводят их внешний осмотр определяют характер успокоения подвижной системы прибора основную погрешность вариацию показаний порог чувствительности время про
11508. Определение соответствия статической характеристики термоэлектрического преобразователя 19.67 KB
  Методика и порядок проведения поверки В условиях учебной лаборатории поверка ТП включает внешний осмотр определение соответствия статической характеристики преобразователя стандартной НСХ. При проведении поверки соблюдают следующие условия: температура окруж...
11509. Виртуальные ПК 101 KB
  Лабораторная работа Тема: Виртуальные ПК Цель работы: изучить способы создания и настройки виртуального ПК установки на нём операционной системы Теоретические сведения Существует еще один способ установки на одном компьютере множества операционных систем с п...
11510. Восстановление файлов и каталогов в Windows 147.5 KB
  Лабораторная работа Тема: Восстановление файлов и каталогов в Windows Цель работы: научиться создавать резервные копии дисков и файлов клонировать носители создавать резервные копии системных носителей; научиться восстанавливать данные и систему с резервных копий. ...
11511. Файловая система NTFS 94 KB
  Лабораторная работа Тема: Файловая система NTFS Цель работы: изучить организацию файловой системы NTFS Теоретические сведения Файловая система NTFS была разработана для ОС Windows NT с учетом опыта разработки файловых систем FAT и HPFS. Основными отличиями являются: подд...