19862

Проведение количественного анализа в Оже-спектроскопии методом внешних эталонов и методом коэффициентов элементной чувствительности

Лекция

Физика

Лекция 27 Проведение количественного анализа в Ожеспектроскопии методом внешних эталонов и методом коэффициентов элементной чувствительности. Растровая Ожеэлектронная спектроскопия. Метод ОЭС позволяет проводить как качественный так и количественный элементный

Русский

2013-07-18

255.5 KB

11 чел.

Лекция 27

Проведение количественного анализа в Оже-спектроскопии методом внешних эталонов и методом коэффициентов элементной чувствительности. Растровая Оже-электронная спектроскопия.

Метод ОЭС позволяет проводить как качественный, так и количественный элементный анализ. Качественный анализ дает информацию о том, какие элементы входят в состав образца. Количественный анализ применяется для определения концентрации присутствующих на поверхности элементов

Качественный анализ. По измеренным значениям энергий Оже-электронов необходимо определить, каким именно химическим элементам соответствуют зарегистрированные максимумы спектра. Для этого используются справочники с таблицами энергий Оже-переходов и атласы эталонных Оже-спектров.

Количественный анализ. Для проведения количественного анализа методом ОЭС необходимо установить связь между током Оже-электронов данного элемента и его концентрацией в приповерхностной области.

Пусть в состав образца входит элемент, измеренная энергия Оже-пика которого соответствует Оже-переходу . Данный элемент, находящийся в слое толщиной dx расположенном на глубине x (рис. 27.1), дает следующий вклад в величину Оже-пика (в предположении 100% эффективность всей измерительной системы)

dIA = Ie(x)[1 + r(x)]и(x)n(x)WAe-x/cos(A/4)dx    (27.1)

где Ie(x) – ток электронов пучка, которые на глубине x имеют энергию больше энергии связи оболочки/подоболочки данного элемента ();

r(x) – коэффициент, учитывающий отраженные электроны, проходящие слой dx с энергией большей  (не путать с коэффициентом отражения);

и(x) – сечение ударной электронной ионизации для электронов, находящихся на глубине x;

n(x) – атомная концентрация искомого элемента на глубине x;

WA – вероятность, что в результате ионизации оболочки/подоболочки произойдет именно Оже-переход;

– глубина выхода Оже-электронов;

A – телесный угол сбора электронов электростатическим энергоанализатором.

Полный ток, отвечающий данному Оже-пику

.   (27.2)

Так как ~ 10 Å, то основной вклад в интеграл дает экспонента, поэтому формально верхний предел можно заменить на бесконечность и вынести за знак интеграла все сомножители кроме экспоненты. В результате получим

(27.3)

где I0 – ток пучка электронов; n – концентрация искомого элемента на поверхности образца, r – коэффициент, учитывающий отраженные электроны, пересекающие поверхность с энергией больше .

Непосредственное определение n в соответствие с выражением (27.3) сопряжено со значительными трудностями, связанными, в первую очередь, с неопределенностью значения r, поэтому на практике пользуются следующими приближенными методами, в конечном счете, связанными с использованием эталонных образцов.

Метод внешних эталонов.

В этом методе амплитуда Оже-пика от интересующего элемента в исследуемом образце сравнивается с амплитудой Оже-пика от моноэлементного образца, имеющего атомную концентрацию . В эталонном образце ток IA для того же перехода

Если оба измерения проведены в одинаковых условиях, то

.

Откуда искомая атомная концентрация исследуемого элемента

(27.4)

где последняя дробь – т.н. матричный фактор.

Расчету матричных факторов посвящено большое количество работ, в том числе, с использованием методов машинного моделирования процесса взаимодействия электронов с твердым телом, результаты которых приведены в справочниках.

В случае если известно, что исследуемый образец близок по стехиометрии эталонному полиатомному образцу, содержащему те же элементы, что и исследуемый образец, тогда можно считать, что матричные факторы обеих образцов практически совпадают и выражение (27.4) существенно упрощается

     (27.5)

где nэ – концентрация искомого элемента в эталонном образце. Проведя подобные измерения по всем элементам, содержащимся в исследуемом образце, мы решим задачу количественного анализа.

Метод коэффициентов элементной чувствительности.

Метод коэффициентов элементной чувствительности основан на допущении, что интенсивность оже-сигнала Ii элемента i просто пропорциональна его концентрации на поверхности ni. Это соответствует замене всех сомножителей в уравнении (27.3), кроме ni и величин А и , заданных геометрией измерения и вместе с эффективностью измерительной системы, определяющих чувствительность спектрометра k, константой Si, поэтому

.      (27.6)

Коэффициент Si определяет чувствительность метода к данному элементу и поэтому называется коэффициентом элементной чувствительности. Коэффициенты элементной чувствительности приведены в атласах эталонных Оже-спектров. Все спектры, приводимые в атласе, сняты в идентичных условиях и каждый спектр нормирован на амплитуду Оже-пика перехода MVV в серебре с энергией EА = 354 эВ, т.е. коэффициент элементной чувствительности серебра принят за 1. Проведя калибровку по серебру, т.е. определить чувствительность используемого Оже-спектрометра относительно чувствительности, приведенной в атласе, в рамках данного метода можно считать, что атомная концентрация i-элемента, в исследуемом образце (содержащим всего N элементов)

.     (27.7)

Растровая Оже-электронная спектроскопия

Оже-электронная спектроскопия дает нам информацию об элементном составе участка поверхности тела, размеры которого в первом приближении определяются размерами самого электронного зонда (пучка первичных электронов). Перемещая электронный зонд по поверхности, можно получить данные о распределении элементов на ней в разных точках. В Оже-спектрометрах первого поколения диаметр первичного электронного пучка составлял десятые доли миллиметра. Поэтому и пространственное разрешение было того же порядка. В настоящее время диаметр пучка в Оже-спектрометрах может быть доведен до сотен Å. Это дало возможность создать растровый Оже-спектрометр.

На рис. 27.1 приведены схема действия растрового Оже-спектрометра.

Первичный электронный пучок сканируется по растру на образце, подобно тому, как это сделано в растровом электронном микроскопе. Энергоанализатор настроег на энергию пропускания, соответствующую энергии Оже-пика одного из элементов, входящих в состав образца. Ток с детектора используется для модуляции яркости на экране электронно-лучевой трубки, подобно тому, как это делается в РЭМ. Развертка первичного электронного пучка в растр, естественно, синхронизована с разверткой ЭЛТ. Таким образом, получается изображение поверхности в Оже-электронах. Для получения изображения поверхности в Оже-электронах, отвечающих другому элементу, входящему в состав образца, необходимо перенастроить энергоанализатор на другую энергию пропускания, соответствующую энергии Оже электронов этого элемента.


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

25079. Біоетика – нормативне знання 56 KB
  Прикладом такого розуміння евтаназії є введення летальної дози препарату термінальному хворому з метою полегшення тяжких страждань. Ще одна відмінність дуже важлива в дискусії з приводу евтаназії. Можливість такої евтаназії розглядається у пацієнтів не здатних приймати самостійні рішення наприклад душевнохворі. Якщо розглядати в сукупності випадки добровільної недобровільної евтаназії з випадками активної пасивної евтаназії можна виділити чотири різновиди евтаназії: 1 добровільна активна; 2 недобровільна активна; 3 добровільна пасивна;...
25080. Біоетика та евтаназія 33.5 KB
  Моральне добро – найбільш узагальнене імперативнооціночне поняття моралі і категорія етики яка виражає позитивне моральне значення явищ суспільного життя в їх співвіднесенні з етичним ідеалом. Добро – це все позитивно оцінюване моральною свідомістю при співвіднесенні з гуманістичними принципами тобто те що сприяє розвитку в людині і суспільстві людяності взаєморозуміння і згоди. Добро є виконання вимог моралі слідування моральному обов’язку.
25081. Поняття добра і зла 35 KB
  Це – вузлові пункти людського пізнання. Добро і зло нерідко розглядають як синонімів понять моральної і аморальне а на саму етику – як вчення про добро і зло. Зло категорія етики за змістом протилежна добру узагальнено якою виражено уявлення про безнравственном що суперечить вимогам моралі заслуживающем осуду. Іммануїл Кант вважав зло необхідним наслідком чуттєвої природи людини.
25082. Смертна кара 36 KB
  Майже всі суспільства людства на певній стадії свого розвитку застосовували смертну кару до кримінальних і політичних злочинців. Деякі країни скасували смертну кару за винятком особливих обставин таких як наприклад зраду під час військових дій. Такі держави як Китай США та інші зберегли смертну кару за злочини окремо визначені законодавством. У країнах які практикують смертну кару метод страти визначається законодавчо.
25083. Глобалізація загострила таку проблему як тероризм 36.5 KB
  Глобальні проблеми групуються навколо трьох фундаментальних напрямків розвитку людства: людинатехніка людинаприрода людина культура. Людинатехніка – використання атомної енергії а також через непрогнозованність наслідків роботи машин що працюють на принципах самовдосконалення і самонавчання. Людинакультура – тенденція до втрати культурних національних рис. Людинаприрода – погіршення екологічної ситуації зростають природні катаклізми та техногенни катастрофи.
25084. Благодійність 33 KB
  Існують різні погляди на благодійність: 1 благодійність немає сенсу і є аморальною тому що а це різновид бізнесу; б інструмент ідеологічного і політичного впливу; в засіб розваги для багатих бо велика помпезність потребує великих грошей і вони більші ніж ті що йдуть для бідних. 2 благодійність має тісний зв’язок з владою а саме з владою церкви яка говорить про милосердя. 3 благодійність і милосердя існують для того щоб мати похвалу від сучасників та залишитись у пам’яті нащадків. 5 благодійність направлена на послаблення...
25085. Етикет 37.5 KB
  Іноді достатньо одного погляду на людину щоб оцінити її смак і манеру вбиратися. Одяг підкреслює гарний смак одних і несмак інших. У здоровому цивілізованому суспільстві панує здоровий естетичний смак. Смак володар моди.
25087. Толерантність 35.5 KB
  Толерантність є необхідною умовою людського співжиття. Толерантність вимагає від людей примирення досягнення компромісу. Толерантність не є насиллям над людською волею позаяк це не людська кара. Приклади толерантності: батьки миряться з певною поведінкою своїх дітей; людина терпить слабкості іншої людини; людина терпить толерантність; монарх терпить інакомислення; релігійна течія терпимо ставиться до гомосексуалів; держава визнає релігійні меншини; суспільство терпимо ставиться до певних форм девіантної поведінки.