19862

Проведение количественного анализа в Оже-спектроскопии методом внешних эталонов и методом коэффициентов элементной чувствительности

Лекция

Физика

Лекция 27 Проведение количественного анализа в Ожеспектроскопии методом внешних эталонов и методом коэффициентов элементной чувствительности. Растровая Ожеэлектронная спектроскопия. Метод ОЭС позволяет проводить как качественный так и количественный элементный

Русский

2013-07-18

255.5 KB

12 чел.

Лекция 27

Проведение количественного анализа в Оже-спектроскопии методом внешних эталонов и методом коэффициентов элементной чувствительности. Растровая Оже-электронная спектроскопия.

Метод ОЭС позволяет проводить как качественный, так и количественный элементный анализ. Качественный анализ дает информацию о том, какие элементы входят в состав образца. Количественный анализ применяется для определения концентрации присутствующих на поверхности элементов

Качественный анализ. По измеренным значениям энергий Оже-электронов необходимо определить, каким именно химическим элементам соответствуют зарегистрированные максимумы спектра. Для этого используются справочники с таблицами энергий Оже-переходов и атласы эталонных Оже-спектров.

Количественный анализ. Для проведения количественного анализа методом ОЭС необходимо установить связь между током Оже-электронов данного элемента и его концентрацией в приповерхностной области.

Пусть в состав образца входит элемент, измеренная энергия Оже-пика которого соответствует Оже-переходу . Данный элемент, находящийся в слое толщиной dx расположенном на глубине x (рис. 27.1), дает следующий вклад в величину Оже-пика (в предположении 100% эффективность всей измерительной системы)

dIA = Ie(x)[1 + r(x)]и(x)n(x)WAe-x/cos(A/4)dx    (27.1)

где Ie(x) – ток электронов пучка, которые на глубине x имеют энергию больше энергии связи оболочки/подоболочки данного элемента ();

r(x) – коэффициент, учитывающий отраженные электроны, проходящие слой dx с энергией большей  (не путать с коэффициентом отражения);

и(x) – сечение ударной электронной ионизации для электронов, находящихся на глубине x;

n(x) – атомная концентрация искомого элемента на глубине x;

WA – вероятность, что в результате ионизации оболочки/подоболочки произойдет именно Оже-переход;

– глубина выхода Оже-электронов;

A – телесный угол сбора электронов электростатическим энергоанализатором.

Полный ток, отвечающий данному Оже-пику

.   (27.2)

Так как ~ 10 Å, то основной вклад в интеграл дает экспонента, поэтому формально верхний предел можно заменить на бесконечность и вынести за знак интеграла все сомножители кроме экспоненты. В результате получим

(27.3)

где I0 – ток пучка электронов; n – концентрация искомого элемента на поверхности образца, r – коэффициент, учитывающий отраженные электроны, пересекающие поверхность с энергией больше .

Непосредственное определение n в соответствие с выражением (27.3) сопряжено со значительными трудностями, связанными, в первую очередь, с неопределенностью значения r, поэтому на практике пользуются следующими приближенными методами, в конечном счете, связанными с использованием эталонных образцов.

Метод внешних эталонов.

В этом методе амплитуда Оже-пика от интересующего элемента в исследуемом образце сравнивается с амплитудой Оже-пика от моноэлементного образца, имеющего атомную концентрацию . В эталонном образце ток IA для того же перехода

Если оба измерения проведены в одинаковых условиях, то

.

Откуда искомая атомная концентрация исследуемого элемента

(27.4)

где последняя дробь – т.н. матричный фактор.

Расчету матричных факторов посвящено большое количество работ, в том числе, с использованием методов машинного моделирования процесса взаимодействия электронов с твердым телом, результаты которых приведены в справочниках.

В случае если известно, что исследуемый образец близок по стехиометрии эталонному полиатомному образцу, содержащему те же элементы, что и исследуемый образец, тогда можно считать, что матричные факторы обеих образцов практически совпадают и выражение (27.4) существенно упрощается

     (27.5)

где nэ – концентрация искомого элемента в эталонном образце. Проведя подобные измерения по всем элементам, содержащимся в исследуемом образце, мы решим задачу количественного анализа.

Метод коэффициентов элементной чувствительности.

Метод коэффициентов элементной чувствительности основан на допущении, что интенсивность оже-сигнала Ii элемента i просто пропорциональна его концентрации на поверхности ni. Это соответствует замене всех сомножителей в уравнении (27.3), кроме ni и величин А и , заданных геометрией измерения и вместе с эффективностью измерительной системы, определяющих чувствительность спектрометра k, константой Si, поэтому

.      (27.6)

Коэффициент Si определяет чувствительность метода к данному элементу и поэтому называется коэффициентом элементной чувствительности. Коэффициенты элементной чувствительности приведены в атласах эталонных Оже-спектров. Все спектры, приводимые в атласе, сняты в идентичных условиях и каждый спектр нормирован на амплитуду Оже-пика перехода MVV в серебре с энергией EА = 354 эВ, т.е. коэффициент элементной чувствительности серебра принят за 1. Проведя калибровку по серебру, т.е. определить чувствительность используемого Оже-спектрометра относительно чувствительности, приведенной в атласе, в рамках данного метода можно считать, что атомная концентрация i-элемента, в исследуемом образце (содержащим всего N элементов)

.     (27.7)

Растровая Оже-электронная спектроскопия

Оже-электронная спектроскопия дает нам информацию об элементном составе участка поверхности тела, размеры которого в первом приближении определяются размерами самого электронного зонда (пучка первичных электронов). Перемещая электронный зонд по поверхности, можно получить данные о распределении элементов на ней в разных точках. В Оже-спектрометрах первого поколения диаметр первичного электронного пучка составлял десятые доли миллиметра. Поэтому и пространственное разрешение было того же порядка. В настоящее время диаметр пучка в Оже-спектрометрах может быть доведен до сотен Å. Это дало возможность создать растровый Оже-спектрометр.

На рис. 27.1 приведены схема действия растрового Оже-спектрометра.

Первичный электронный пучок сканируется по растру на образце, подобно тому, как это сделано в растровом электронном микроскопе. Энергоанализатор настроег на энергию пропускания, соответствующую энергии Оже-пика одного из элементов, входящих в состав образца. Ток с детектора используется для модуляции яркости на экране электронно-лучевой трубки, подобно тому, как это делается в РЭМ. Развертка первичного электронного пучка в растр, естественно, синхронизована с разверткой ЭЛТ. Таким образом, получается изображение поверхности в Оже-электронах. Для получения изображения поверхности в Оже-электронах, отвечающих другому элементу, входящему в состав образца, необходимо перенастроить энергоанализатор на другую энергию пропускания, соответствующую энергии Оже электронов этого элемента.


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

37177. Расходы бюджета 29 KB
  По своему материальновещественному воплощению бюджетные расходы представляют собой денежные средства направляемые на финансовое обеспечение задач и функций государства и местного самоуправления. Посредством такой формы функционирования бюджета как бюджетные расходы образуются доходы нетрудоспособных граждан и оказывается поддержка другим социальнонезащищенным слоям населения. Бюджетные расходы способны оказывать активное влияние на формирование экономического роста приоритетное финансирование научных исследований развитие прогрессивных...
37178. Межбюджетные отношения 36.5 KB
  Низкая доля собственных доходов в бюджетах субъектов Федерации и местных бюджетах заметно снижает заинтересованность на местах в наращивании налогового потенциала в своевременном и полном поступлении налогов в бюджетную систему. Межбюджетные трансферты из федерального бюджета бюджетам бюджетной системы Российской Федерации предоставляются в форме: дотаций на выравнивание бюджетной обеспеченности субъектов Российской Федерации; субсидий бюджетам субъектов Российской Федерации; субвенций бюджетам субъектов Российской...
37179. Бюджетный процесс 30 KB
  В соответствии с Бюджетным кодексом правительство России вносит на рассмотрение Государственной Думы проект федерального бюджета на очередной финансовый год не позднее 26 августа. В первом чтении принимаются основные параметры бюджетапроходит в течение 30 дней со дня его внесения в Государственную думу. Рассматривается: прогнозируемый объём доходов в очередной год и плановый период с выделением объёма нефтегазовых доходов; приложения с нормативами распределения доходов между уровнями бюджетной системы; общий объём расходов; ...
37180. Возникновение бюджета 30 KB
  По экономической сущности государственный бюджет это денежные отношения возникающие у государства с юридическими и физическими лицами по поводу распределения национального дохода в связи с образованием и использованием бюджетного фонда предназначенного для финансирования экономики социальнокультурных мероприятий нужд обороны и государственного управления. Благодаря ей можно прогнозировать социальноэкономические последствия бюджетной политики. Бюджет играет важную экономическую социальную и политическую роль в воспроизводственном...
37181. Бюджетное устройство 90.5 KB
  Бюджетная система унитарного государства состоит из двух звеньев государственного и местных бюджетов. Бюджетная система федеративных госуда рств тр ехзвенная и состоит из федеративного федерального бюджета бюджетов членов субъектов федерации и местных бюджетов. Бюджетный кодекс РФ далее БК РФ даёт следующее определение бюджетной системы: Основанная на экономических отношениях и государственном устройстве РФ регулируемая нормами права совокупность федерального бюджета бюджетов субъектов РФ местных бюджетов и бюджетов государственных...
37182. Право регулирования денежного обращение страны 92.5 KB
  Главными задачами правового регулирования денежного обращения в России являются: обеспечение четкого разделения правовых полномочий и ответственности в сфере денежного обращения между Президентом РФ законодательной и исполнительной властями; поддержание необходимого темпа роста денежной массы в обращении и правильного соотношения между наличным и безналичным денежным обращением с целью стабильного и эффективного функционирования экономики страны; обеспечение законодательной и исполнительной власти правовыми нормами и инструментами...
37183. Денежно – кредитная политика 86 KB
  Согласно комментариям к федеральному закону О Центральном банке Российской Федерации Банка России денежно кредитная политика определяется как основная часть единой государственной экономической политики проявляющаяся в воздействии на количество денег в обращении с целью достижения стабильности цен обеспечения максимально возможной занятости населения а также роста реального объёма производства. В отличие от первого определения второе подчёркивает возможность влияния денежно кредитной политики не только на сферу обращения но и...
37184. Современные коммерческие банки 34.5 KB
  Коммерческие банки выступают основным звеном банковской системы. Независимо от формы собственности коммерческие банки являются самостоятельными субъектами экономики. Таким образом коммерческие банки осуществляют должны осуществлять комплексное обслуживание клиентов что отличает их от специальных кредитных организаций небанковского типа выполняющих ограниченный круг финансовых операций и услуг.
37185. Денежная система 44.5 KB
  В зависимости от вида денег деньги как товар выполняющий роль всеобщего эквивалента или деньги как знак стоимости различают денежные системы двух типов:1 система металлического обращения которая базируется на действительных деньгах серебро золото выполняющих все пять функций а образующиеся банкноты беспрепятственно обмениваются на действительные деньги;2 система бумажнокредитного обращения при которой действительные деньги вытесняются знаками стоимости а в обращении находятся бумажные казначейские векселя либо кредитные...