37694

Моделирование процесса диффузии

Лабораторная работа

Коммуникация, связь, радиоэлектроника и цифровые приборы

Диффузия из ограниченного источника примеси где N0 – приповерхностная концентрация диффузанта; Q см–2 – поверхностная плотность примеси; t – время диффузии; Провести моделирование для Диффузия из бесконечного источника примеси. Диффузия из ограниченного источника примеси...

Русский

2013-09-25

187 KB

13 чел.

Диффузия из бесконечного источника примеси

,

где N0, cм–3 – приповерхностная концентрация диффузанта;

 erfc – дополнительная функция ошибок;

 D, см2/с – коэффициент диффузии;

 t – время диффузии;

 x – расстояние вглубь пластины, см;

Провести моделирование для t = 1; 3 ч.

1

2

3

4

N0, cм–3

6 ∙ 1016

8 ∙ 1017

4 ∙ 1018

7 ∙ 1017

D, см2

2 ∙ 10–15

9 ∙ 10–15

5 ∙ 10–14

3 ∙ 10–14

Диффузия из ограниченного источника примеси

,

,

где N0 – приповерхностная концентрация диффузанта;

 Q, см–2 – поверхностная плотность примеси;

 t – время диффузии;

Провести моделирование для t = 1; 2; 3 ч.

1

2

3

4

Q, см–2

2,8 ∙ 1011

8,1 ∙ 1012

9,5 ∙ 1013

1,3 ∙ 1013

D, см2

2 ∙ 10–15

9 ∙ 10–15

5 ∙ 10–14

3 ∙ 10–14

Лістинг в середовищі MatLab:

No=6e+16;

D=2e-15;

t1=3600;

t2=10800;

x=0:1e-8:1e-6;

N1=No.*erfc(x./(2*sqrt(D*t1)));

N2=No.*erfc(x./(2*sqrt(D*t2)));

figure(1)

plot(x ,N1 ,'b.', x, N2, 'b-');

title('Диффузия из бесконечного источника примеси');

xlabel('sm');

ylabel('N');

grid;

Q=2.8e+11;

D=2e-15;

t1=3600;

t2=7200;

t3=10800;

x=0:5e-7:2e-5;

N01=Q/sqrt(pi*D*t1);

N02=Q/sqrt(pi*D*t2);

N03=Q/sqrt(pi*D*t3);

N1=N01*exp(-x.*x/(4*D*t1));

N2=N02*exp(-x.*x/(4*D*t2));

N3=N03*exp(-x.*x/(4*D*t3));

figure(2)

plot(x ,N1 ,'b.',x ,N2 ,'b-',x ,N3 ,'bx');

title('Диффузия из ограниченного источника примеси');

xlabel('sm');

ylabel('N');

grid;

Графіки

Simulink:

 

Графіки:

НТУУ «КПИ»

Лабораторна робота № 6

з курсу: «Моделювання в електроніці»

тема: «Моделирование процесса диффузии»

Виконали:

студенти ІІІ курсу ФЕЛ

Групи ДП-71

Дубовський О.С.

Сергієнко М.С.

Київ 2010


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

7331. Диэлектрики в электростатическом поле 94.5 KB
  Тема: Диэлектрики в электростатическом поле. 1. Свободные и связанные заряды. Полярные и неполярные молекулы. Поляризуемость молекулы. 2. Типы диэлектриков. Деформационная и ориентационная поляризации диэлектриков. Поляризационные заряды. Поляризова...
7332. Расчет электрического поля в диэлектрике 89 KB
  Тема: Расчет электрического поля в диэлектрике. Поле в диэлектрике. Теорема Остроградского-Гаусса для электрического поля в веществе. Электрическое смещение. Диэлектрическая проницаемость вещества. Условия для E и D на границе двух диэлект...
7333. Элементы физической электроники 79 KB
  Тема: Элементы физической электроники 1. Работа выхода электрона из металла. Термоэлектронная эмиссия. 2. Электрический ток в вакууме. Законы, описывающие ток в вакууме. I=B...
7334. Магнитное поле в вакууме. Закон Био-Савара-Лапласа 124 KB
  Тема: Магнитное поле в вакууме. Закон Био-Савара-Лапласа Магнитное поле тока. Закон Био-Савара-Лапласа. Принцип суперпозиции магнитных полей. 2. Применение закона Био-Савара-Лапласа к расчету магнитного поля: Магнитное по...
7335. Закон полного тока для магнитного поля в вакууме 85.5 KB
  Тема: Закон полного тока для магнитного поля в вакууме Вихревой характер магнитного поля. Циркуляция вектора магнитной индукции. Закон полного тока для магнитного поля в вакууме Применение закона полного тока к расчету магнитного ...
7336. Закон Ома в дифференциальной форме 91.5 KB
  Тема: Закон Ома в дифференциальной форме Постоянный электрический ток, его характеристики и условия существования. Классическая электронная теория электропроводности (КЭТ) металлов и ее опытное обоснование. Плотность тока по КЭТ. 3. Вывод за...
7337. Энергия электрического поля 73 KB
  Тема: Энергия электрического поля 1. Энергия уединенного заряженного проводника и системы заряженных проводников 2. Энергия заряженного конденсатора 3. Энергия электростатического поля. Объемная плотность энергии. 4. Пондеромоторные силы. Применение...
7338. Выявление и оценка тенденций развития финансовых процессов на предприятии 155 KB
  Введение: На современном этапе развития нашей экономики вопрос анализа финансового состояния предприятия является очень актуальным. От финансового состояния предприятия зависит во многом успех его деятельности. Поэтому анализу финансового состояния ...
7339. Теоретические основы легирования 1.15 MB
  Теоретические основы легирования Конспект лекций составлен в соответствии с программой и учебным планом по дисциплине Теоретические основы легирования и содержит материалы по основным разделам дисциплины. СОДЕРЖАНИЕ Стр. Легирующие элементы и кл...