51525

ВИЗУАЛИЗАЦИЯ РЕШЕНИЙ МОДЕЛЕЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ДИФФУЗИИ

Лабораторная работа

Физика

Для одномерного случая если глубина диффузии значительно меньше поперечных размеров площади на которой она происходит первый закон Фика имеет вид: где J x плотность потока примеси число атомов вещества переносимых в единицу времени через единичную площадь Nx концентрация примесей D=D0expE kT коэффициент диффузии; D0 постоянная диффузии E энергия активации. Согласно второму закону Фика скорость изменения числа примесных атомов в единичном объеме равна разности между потоками примеси входящих и выходящих из этого...

Русский

2014-02-12

194 KB

3 чел.

Лабораторная работа № 1

ВИЗУАЛИЗАЦИЯ РЕШЕНИЙ МОДЕЛЕЙ ТЕРМИЧЕСКОЙ ДИФФУЗИИ

По теме «Визуализация в методиках моделирования ИС»

Постановка задачи

Для количественного определения глубины диффузионного слоя, а также для нахождения распределения концентрации примесей в нем, используют законы Фика. Для одномерного случая, если глубина диффузии значительно меньше поперечных размеров площади, на которой она происходит, первый закон Фика имеет вид:

где J (x) – плотность потока примеси (число атомов вещества, переносимых в единицу времени через единичную площадь), N(x) – концентрация примесей, D=D0exp(-Ea/kT) – коэффициент диффузии; D0 – постоянная диффузии, Ea – энергия активации. Согласно второму закону Фика скорость изменения числа примесных атомов в единичном объеме равна разности между потоками примеси, входящих и выходящих из этого объема:

При условии, что коэффициент диффузии постоянен (т.е. неизменна температура диффузии), получаем:

Рассмотрим бесконечный постоянный источник примеси. Под действием его примесь распределяется в приповерхностном слое пластины кремния, т. е. на глубину существенно меньшую толщины пластины. Модель описывается следующей смешанной задачей для одномерного уравнения диффузии:

где  – расстояние от поверхности пластины;  – приповерхностная концентрация примеси, поддерживаемая постоянной в течение всего процесса;   – наблюдаемая продолжительность процесса диффузии.

2) Решение.

При этих условиях аналитическое решение имеет следующий вид:

– дополнительная функция ошибок.

Параметры диффузии примесей в кремний

Вариант

Примесь

D0 (см2/с)

EA (эВ)

U0 (см-3)

12

В

25

3,51

2·1017

3)

d[T_]=d0*Exp[-Ea/(k*T)]

u[x_,t_]=u0*Erfc[x/(2*Sqrt[d[1200]*t])]

xj=2*Sqrt[d[1200]*t]*(Sqrt[ln[u0]]-0.3)

d0=25

u0=2*10^17

Ea=3.51

k=8.62*10^(-5)

Plot3D[Evaluate[u[x,t]],{x,0,0.00004},{t,1,10000}]

4) Температурная зависимость коэффициента диффузии

Plot[Evaluate[d[T]],{T,1000,1800},AxesLabel->{{T,K},{D,см^2/c}}]

- постоянная диффузии

- энергия активации примеси

5) а) Если рассмотреть зависимость от  в фиксированный момент времени, равном t=10000, на определенном расстоянии от края (100 мкм),

un[u0_]=u0*Erfc[0.0001/(2*Sqrt[d[1200]*1000])]

то получим

Plot[Evaluate[un[u0]],{u0,1*10^13,1*10^18},AxesLabel->{{u0,cм^(-3)},{u}}]

б) u[T_]=u0*Erfc[x/(2*Sqrt[d0*Exp[-Ea/(k*T)]*t])]

Plot[Evaluate[u[T]],{T,1000,1800},AxesLabel->{{T,K},{u}}]

6) Профиль распределения примеси (при различных временах диффузии)

Plot3D[Evaluate[u[x,t]],{x,0,0.00004},{t,1,10000}]

Plot3D[Evaluate[u[x,t]],{x,0,0.00004},{t,1,1000}]

Plot3D[Evaluate[u[x,t]],{x,0,0.00004},{t,1,100}]

Plot3D[Evaluate[u[x,t]],{x,0,0.00004},{t,1,10}]

7) Глубина залегания перехода

- концентрация примеси противоположного типа в подложке до процесса диффузии

Предположим, что до процесса диффузии в подложке присутствовала примесь фосфора с концентрацией UB= 8∙1015 см-3 ,  см-3, t=104 с,

Тогда xj=25,4 мкм


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

37966. Изучение законов соударения тел 128 KB
  Центральный удар двух шаров. Цель работы Определение коэффициентов восстановления скорости и энергии при центральном ударе двух шаров времени и средней силы соударения. Центральный удар двух шаров Рассмотрим два шара подвешенных рядом так что их центры находятся на одном уровне. Отведем один из шаров на некоторый угол α и отпустим без начальной скорости.
37967. Конституция РФ 135 KB
  Найдите по тексту статью и главу Конституции РФ Федеративное устройство Российской Федерации основано на ее государственной целостности единстве системы государственной власти разграничении предметов ведения и полномочий между органами государственной власти Российской Федерации и органами государственной власти субъектов Российской Федерации равноправии и самоопределении народов в Российской Федерации Путь поиска: поиск контекста базовый поиск Федеративное устройство Российской Федерации основано на ее...
37968. Моделирование электростатического поля, знакомство с моделированием электрического поля методом электролитической ванны 87 KB
  Вектор напряженности направлен в каждой точке силовой линии по касательной к ней. Силовые линии пересекают эквипотенциальные поверхности под прямым углом. Перемещая зонд таким образом чтобы показания вольтметра не изменялись определите положение эквипотенциальной линии. Отметьте положение эквипотенциальной линии на координатной сетке 10.
37969. СМО з очікуванням. Багатоканальні пристрої 37 KB
  Система складається з 2 послідовних ланцюгів Кг 1й ланцюг 2й ланцюг Кількість каналів в 1му ланцюгу Кількість каналів в 2му ланцюгу 0 1 БКП ОКП 3 2 2 ОКП БКП 2 6 3 ОКП БКП 3 1 4 БКП БКП 1 2 5 і більше БКП ОКП 2 4 БКП багатоканальний пристрій ОКП одно канальний пристрій При написанні програми використати мінімум три різні розподіли при генерації та обробці транзактів Якщо вільного пристрою каналу немає транзакт ставиться до черги. Для ОКП: Якщо Кп парне то ОКП в пучку займаються по принципу: перший вільний починаючи...
37970. СМО з повторними визовами та очікуванням в черзі з обмеженою кількістю місць в черзі 27.5 KB
  Якщо Кг парне повторна спроба заняття каналу для першого та 3го ланцюгів а черга з обмеженою кількістю місць в 2му та 4му ланцюгах. якщо Кг непарне то повторна спроба заняття каналу для 2го та 4го ланцюгів а черга з обмеженою кількістю місць в 1му та 3му ланцюгах. Відповідно використовуєте ті ланцюги що наявні в Вашій моделі згідно ЛР №3 Для ланцюгів з чергою: при наявності вільних місць в черзі постановка в чергу з обмеженою кількістю місць.
37971. Гражданский кодекс РФ 128.5 KB
  Согласно ГК РФ определите действие гражданского законодательства во времени Путь поиска: толковый словарь контекстный фильтр навигационного меню действие гражданского законодательства во времени Результат поиска: статья 4 Статья 4. Путь поиска: толковый словарь контекстный фильтр навигационного меню правоспособность Результат поиска: статья 17 Статья 17. Результат поиска: статья 22 Статья 22. На основании ГК РФ дайте определение понятия юридического лица Путь поиска: толковый словарь контекстный фильтр навигационного меню...
37972. Генерация кода С++ 3.1 MB
  Изучение фаз процесса генерации кода: создания наборов свойств определения спецификаций компонентов выбора языка С для компонентов отнесения классов к компонентам связывания наборов свойств с элементами модели генерации кода анализа ошибок. Создание наборов свойств. Связывание наборов свойств с элементами модели. Генерация кода Создание наборов свойств При генерации кода учитываются свойства проекта в целом а также свойства уровней классов ролей атрибутов и операций.
37973. Семейный Кодекс РФ 100 KB
  Регулирование семейных отношений осуществляется в соответствии с принципами добровольности брачного союза мужчины и женщины равенства прав супругов в семье разрешения внутрисемейных вопросов по взаимному согласию приоритета семейного воспитания детей заботы об их благосостоянии и развитии обеспечения приоритетной защиты прав и интересов несовершеннолетних и нетрудоспособных членов семьи. Брак прекращается вследствие смерти или вследствие объявления судом одного из супругов умершим. Брак может быть прекращен путем его расторжения по...
37974. Аналіз імітаційної модель CALL-центру 25.5 KB
  Дослідити кількість повторних викликів. Дослідити параметри черг до кожного з спеціалістів параметри такі ж як п. Дослідити залежність кількості відмов в обслуговуванні та кількості повторних викликів від росту інтенсивності вхідного потоку заявок збільшити інтенсивність вхідного потоку 1х 2х 5х 10х 20х 50х 100х 6.