6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

4128. Технологии беспроводных сетей. Канальный уровень протоколов IEEE 802.11 776.5 KB
  Технологии беспроводных сетей. Канальный уровень протоколов IEEE 802.11 Цель работы: познакомится с протоколами и технологиями передачи данных в беспроводных сетях на канальном уровне, получить навыки выбора оборудования для построения беспроводной ...
4129. Работа с одномерными и двумерными массивами 376.5 KB
  Работа с одномерными и двумерными массивами Цель работы: Изучение возможностей разработки приложений и получение практических навыков решения типовых задач с использованием одномерных и двумерных массивов. Порядок выполнения работ Запустить пр...
4130. Дослідження кореляційної та автокореляційної функції прийнятого сигналу 206.5 KB
  Дослідження кореляційної та автокореляційної функції прийнятого сигналу Мета роботи: 1) дослідити основні характеристики кореляційної функції 2) побудувати графіки функцій формування відео- та радіоімпульсу 3) побудувати графіки адитивної суміші д...
4131. Изучение алгоритма цифровой сверки 98 KB
  Изучение алгоритма цифровой сверки Целью работы является изучение алгоритмов цифровой свертки изучение функций MatLab, позволяющих автоматизировать процесс вычисления цифровой свертки получение навыков расчета низкочастотных фильтров с использо...
4132. Визначення концентрації вільних носіїв заряду в напівпровіднику 112.5 KB
  Визначення концентрації вільних носіїв заряду в напівпровіднику Мета роботи. Визначити питому електропровідність та концентрацію вільних носіїв заряду в напівпровідниковому монокристалі з електронною провідністю. Теоретичні відомості. В напівпров...
4133. Вивчення вільних затухаючих коливань математичного маятника 138.5 KB
  Вивчення вільних затухаючих коливань математичного маятника Мета роботи. Вивчити затухаючі коливання математичного маятника i визначити характеристики затухаючих коливань (період затухаючих коливань, логарифмічний декремент затухання, коефіцієнт зат...
4134. Типи зображень по глибині кольору 532 KB
  Типи зображень по глибині кольору Установка глибини кольору необхідна на початку роботи із зображенням і визначає його тип і кількість можливих відтінків тони (кольори). Розглянемо можливості перенесення кольорів і поняття глибини кольору, використо...
4135. Спусковое регенеративное устройство триггер 502 KB
  Триггеры Триггер — это спусковое регенеративное устройство с двумя или более устойчивыми состояниями, переключаемыми в соответствии с сигналом, поступающим на информационные входы. Существует большое количество разновидностей триггеров, к...
4136. Шифраторы и дешифраторы 375.5 KB
  Шифраторы и дешифраторы Шифратор – специфический преобразователь кодов, - устройство, обеспечивающее выдачу определенного кода в ответ на возбуждение одного из входов. Шифраторы реализуют преобразование унитарного кода (другое название – к...