6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

31326. Организация постановки пьесы «Саломея» О. Уайльда 9.96 MB
  Наряду с этим в 1891 году Уайльд пишет на французском языке трагедию Саломея именно эту пьесу я взяла для постановки дипломного спектакля. Оскар Уайльд был представлен русской читающей публике в журнале Артист в 1892 году как автор запрещенной пьесы Саломея. В 1917 году пьеса была поставлена одновременно в двух театрах: Малый театр Саломея Ольга Гзовская и Камерный театр Саломея Алиса Коонен. В настоящее время Саломея один из ведущих спектаклей театра Романа Виктюка.
31327. Восстановление токсичных веществ 967 KB
  Нитрогруппа отличается высокой стабильностью по отношению к электрофильным реагентам и разнообразным окислителям. Большинство нуклеофильных агентов за исключением литий- и магнийорганических соединений, а также литийалюминийгидрида не действуют на нитрогруппу. Нитрогруппа относится к числу превосходных нуклеофильных групп в процессах активированного ароматического нуклеофильного замещения
31329. Реставрация дома в Иркутской области 1.05 MB
  Подготовка и оклейка поверхности обоями 31 2. По всем показателям вид отделки лицевой поверхности керамическая плитка для пола аналогична фасадной керамической плитке. Назначение и виды штукатурных работ Штукатуркой называется отделочный слой на поверхности различных конструктивных элементов зданий стен перегородок перекрытий колонн и др. выравнивающий эти поверхности или придающий им определенную форму и фактуру.
31330. Модернизация электрооборудования продольношлифовального станка модели 3Б722 1.22 MB
  Присоединительные клеммы располагаются в закрытой коробке имеющей резьбовое отверстие или патрубок для ввода проводов: снятие двигателя и его установка не должны вызывать частичного или полного демонтажа механизмов станка; замена и изменение натяжения ремней должна быть простой. Выбор элементов монтажа С целью защиты проводников от механических повреждений и вредных воздействий машинного масла пыли и охлаждающей жидкости производится в стальных тонкостенных трубах...
31331. Робота з базами даних і можливість автоматизації роботи кулінарного сайту 268.5 KB
  Необхідність вдосконалення методів і прийомів визначення економічної ефективності і розрахунків пояснюється тим, що впровадження обчислювальної техніки - дорогий процес, і тому доцільність витрат на створення і впровадження інформаційної системи повинно бути серйозно обґрунтовано. На створення інформаційної системи потрібні одноразові витрати на її розробку і придбання необхідного комплексу технічних засобів. Економічна ефективність системи визначається з урахуванням одноразових витрат і поточних витрат.
31332. Проектирование локальной вычислительной сети ООО «РАСКО» 4.84 MB
  Локальные сети в сравнении с глобальными сетями внесли много нового в способы организации работы пользователей. Доступ к разделяемым ресурсам стал гораздо удобнее - пользователь мог просто просматривать списки имеющихся ресурсов, а не запоминать их идентификаторы или имена. После соединения с удаленным ресурсом можно было работать с ним с помощью уже знакомых пользователю по работе с локальными ресурсами команд.
31333. Информационные технологии решения комплекса задач подсистемы МТС АСУ предприятия ФГУП «НИИ Точных приборов» 11.23 MB
  Задача 1: Определение потребности МР на производство оборудования на год 50 3. Выбор сетевого оборудования. Обеспечение соответствия оборудования рабочего места требованиям эргономики. и медицинской радиоэлектронной техники; создание и использование по целевому назначению наземных специальных комплексов в интересах решения конверсионных задач дистанционного зондирования Земли; проведение аэросъемочных работ изготовление аналоговых цифровых электронных карт на основе материалов аэрокосмического зондирования...