6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

41937. Вычисление производных в задачах геометрии и частных производных 47.73 KB
  Тема: вычисление производных в задачах геометрии и частных производных. Цель работы: вычисление производных в задачах геометрии и нахождение частных производных высоких порядков в программе MthCd . 2 Выполнить числовое и символьное вычисление частных производных высшего порядка от функции трех переменных: fx=zsinxyz2 в точке M111.
41938. Вычисление интегралов в задачах геометрии и механики 99.01 KB
  Тема: вычисление интегралов в задачах геометрии и механики. Цель работы: вычисление интегралов в задачах геометрии и механики в программе MthCd. Ход выполнения работы: Выводы В ходе выполнения лабораторной работы с помощью Mthcd научились вычислять интегралы в задачах геометрии и механики а именно: решать систему уравнений; находить площадь через двойной интеграл статические моменты координаты центра тяжести.
41939. Решение обычных дифференциальных уравнений в MathCad 87.45 KB
  Тема: решение обычных дифференциальных уравнений в MthCd. Цель работы: с использованием встроенных функций и блочной структуры найти решение обычных дифференциальных уравнений. Задание: 1 Найти решение обычного дифференциального уравнения y =fxy с использованием блока решений.
41940. Изучение внешнего и внутреннего законов фотоэффекта 83.44 KB
  Цель работы: Изучить законы фотоэффекта вычислить постоянную Планка вычислить работу выхода. Так как фотон движется со скоростью света то он обладает импульсом с абсолютной величиной p = mc = hv c Работа выхода. энергия ε которую нужно сообщить электрону для того чтобы он вырвался с максимальной скоростью Vm из пластины характеризуемой работой выхода А определяется соотношением: ε =1 2 mVm 2 А = eUeU0 где U0 =А e потенциал...
41941. Изучение терморезистора. Определение константы 294.8 KB
  РТ21 Лабораторная работа № 9 Изучение терморезистора. Цель работы: Изучить терморезистор определить константу терморезистора В. Зависимость сопротивления терморезистора от температуры с достаточной точностью выражается формулой: 1 где А константа пропорциональная холодному сопротивлению терморезистора при 20 С В константа зависящая от физических свойств полупроводника терморезистора. Постоянная В является одной из важнейших характеристик терморезистора так как она определяет его температурный коэффициент...
41942. Исследование напряженного состояния тонкостенной цилиндрической оболочки 948.96 KB
  Внутренние силы и напряжения В соответствии с теорией расчета тонкостенные оболочки вращения находятся в плоском напряженном состоянии. В таких оболочках действуют кольцевые σк в первом главном сечении и меридиональные напряжения σм во втором главном сечении которые могут определяться через внутренние силы и моменты: где S меридиональная сила; Т кольцевая сила; М меридиональный момент; К кольцевой момент; δ толщина стенки; z координата точки в которой определяется напряжение; z изменяется в интервале от δ 2 до δ 2....
41943. Исследование колебаний вращающегося вала 214.31 KB
  Теоретический расчет частот собственных колебаний вала и деформаций возникающих при его вращении. Экспериментальное определение прогибов вращающегося вала в различных схемах нагружения. Изза неточности изготовления и сборки центры масс деталей как правило не находятся на оси вращения вала т.
41944. Определение напряжений в днищах, нагруженных внутреннем давлением 145.5 KB
  Теоретический расчет напряжений и деформаций в эллиптическом и плоском днищах, нагруженных внутренним давлением; Экспериментальное определение напряжений и деформаций в днищах, сравнение их с расчетными значениями; Сравнение днищ различной формы с точки зрения возникающих в них напряжений.
41945. Исследование распределения напряжений в эллиптическом и коническом днищах 385.56 KB
  Напряжения и деформации МПа МПа МПа Коническое днище МПа МПа 159 МПа Описание экспериментальной установки Основными элементами лабораторной установки рисунок 1 являются рабочая емкость 1 плунжерный насос 2 манометр 3 и бачок для масла. Обработка экспериментальных данных Деформации возникающие в стеке конического днища и эллиптического днища пропорциональны разности показаний где разность показаний от всех датчиков коэффициент тензочувствительности Используя закон Гука для плоского нагруженного состояния в котором находится...