6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

22348. Интегрирование функций комплексной переменной 1.52 MB
  кривая с выбранным направлением движения вдоль нее и на ней функция комплексной переменной fz. Если C кусочногладкая а значит спрямляемая кривая а fz кусочнонепрерывная и ограниченная функция то интеграл 1 всегда существует. Если функция fz аналитична в односвязной области D то для всех кривых C лежащих в этой области и имеющих общие концы интеграл имеет одно и то же значение. fz аналитическая функция.
22349. Формула Коши и теорема о среднем 821.5 KB
  Пусть функция аналитична в связной области и непрерывна в . Тогда для любой внутренней точки этой области имеет место так называемая формула Коши: 1 где граница области проходимая так что область остается всё время слева. Таким образом формула Коши позволяет вычислить значение аналитической функции в любой точке области если известны граничные значения этой функции. Выбросим из области кружок радиусом с центром в точке и заметим что в полученной...
22351. Теоремы Лиувилля и Мореры 98 KB
  По определению аналитическая функция это функция комплексной переменной обладающая производной в каждой точке некоторой области D. Если функция fz аналитична в области D и непрерывна в то она обладает в каждой точке D производными всех порядков причем n я производная представляется формулой 1 где C граница области D. По определению производной и формуле Коши имеем: Но очевидно что при функция равномерна для всех на C стремиться к и следовательно по теореме 2 предыдущей лекции для случая семейства функций...
22352. Представление аналитических функций рядами 464 KB
  Ряды Тейлора. при каких условиях функция представима своим рядом Тейлора с центром в точке : 4 даёт Теорема 1 Коши. Функция представима своим рядом Тейлора 4 в любом открытом круге с центром в точке в котором она аналитична.
22353. Ряды Лорана 269.5 KB
  Поэтому обе формулы можно объединить в одну: 7 Полученное разложение 6 функции fz по положительным и отрицательным степеням za с коэффициентами определяемыми по формулам 7 называется лорановским разложением функции fz с центром в точке a; ряд 2 называется правильной а ряд 4 главной частью этого разложения. и в нашем рассуждении могут быть взяты сколь угодно близкими к r и R а q может сколь угодно мало отличаться от 1 то разложение 6 можно считать справедливым для...
22354. Примеры особых точек 2.06 MB
  Функции имеют в начале координат устранимую особую точку. Функции имеют начале координат существенную особую точку. Проверим справедливость теоремы Сохоцкого для функции . Целые функции.
22355. Бесконечно удаленная точка 682.5 KB
  Пусть функция аналитична в некоторой окрестности бесконечно удаленной точки кроме самой точки . В этом случае функция очевидно ограничена и в некоторой окрестности точки . Пусть функция аналитична в полной поскости. Но тогда функция ограничена во всей плоскости: для всех имеем .
22356. Приложение теории вычетов 797 KB
  Напомним что мероморфной называется функция fz все конечные особые точки которой являются полюсами. в любой ограниченной области такая функция может иметь лишь конечное число полюсов то все ее полюсы можно пронумеровать например в порядке не убывания модулей: Будем обозначать главную часть fz в точке т. Если мероморфная функция fz имеет лишь конечное число полюсов и кроме того является либо правильной регулярной ее точкой либо полюсом то эта функция представляется в виде суммы своих главных частей 3 и...