6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

12476. Блокада Ленинграда 872 дня 834.11 KB
  Блокада Ленинграда. Цифры: 332 059 убитых 24 324 небоевых потерь 111 142 пропавших без вести Гражданские потери: 16 747 убито при артобстрелах и бомбардировках 632 253 погибли от голода Блокада Ленинграда длилась с 8
12478. Блокада Ленинграда самое громкоговорящее событие в истории Второй мировой войны 7.67 MB
  Блокада Ленинграда Предисловие Блокада Ленинграда самое громкоговорящее событие в истории Второй мировой войны. В этом страшном и роковом событии погибло около 800 тыс.человек гражданского населения 4 из которых погибло от бомбёжек а остальные 96 от голода. Офици
12479. 27 января – День снятия блокады г. Ленинграда (1944 г.) 1.45 MB
  27 января День снятия блокады г. Ленинграда 1944 г. На Невском надписи пестрели. Кричала каждая стена: Внимание При артобстреле Опасна эта сторона Огонь И смерть вставала к
12480. Проект Блокада Ленинграда 982.66 KB
  Десятилетия прошли со времени окончания Второй Мировой войны, а память о ней продолжает жить в сознании человечества. Интерес к подвигу советского народа не ослабевает. Во время этой страшной, беспощадной войны
12481. Блокада Ленинграда. Хронология блокады Ленинграда 108.53 KB
  Опорный конспект. Блокада Ленинграда. Хронология блокады Ленинграда: 1941 год 4 сентября Начало артиллерийского обстрела Ленинграда 8 сентября Захват немцами Шлиссельбурга. Начало блокады Ленинграда. Первый массивный налёт вражеской авиации на город....
12482. Блокада Ленинграда. Оборона Ленинграда и подвиги ленинградцев 64.42 KB
  Реферат Тема: Блокада Ленинграда Содержание: Введение Планы Гитлера Начало блокады Проблемы эвакуации жителей Продовольствие в блокадном Ленинграде Дорога Жизни Жизнь людей в блокадном Ленинграде Дети блокадного Ленинграда О
12483. Сталинград. Сто двадцать пять блокадных грамм 63 KB
  Сто двадцать пять блокадных грамм 1. Бои на подступах к Ленинграду После того как в начале июля 1941 г. пали Остров и Псков немецкая группа армий Север 10 июля начала наступление на Ленинград. Ей противостоял созданный 24 июня на базе Ленинградского военного округа Север...
12484. Блокада Ленинграда. Классный час 38 KB
  Классный час: Блокада Ленинграда Цель классного часа: совершенствование духовно патриотического развития учащихся сохранение и развитие чувства гордости за свою страну воспитывать уважительное отношение к старшему поколению памятникам войны способств