6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

73517. Элементы векторной алгебры 3.85 MB
  Векторное произведение направление есть вывинчивание правого винта от r к p Моментом количества движения частицы материальной точки P относительно некоторой точки называется вектор Рис. Координаты события...
73518. ІСТОРІЯ СТАНОВЛЕННЯ ТЕОРЕТИЧНИХ ПРОБЛЕМ ГЕОГРАФІЇ 160 KB
  Географія як наука пройшла тривалий і складний шлях розвитку. Водночас теорія географії як система наукових понять принципів і методів досліджень має власні закономірності розвитку. Особливого значення для географії набувають міждисциплінарні звязки як з природничими так і з суспільними науками.
73519. ПРОБЛЕМА ВИЗНАЧЕННЯ ОБ’ЄКТУ ТА ПРЕДМЕТУ ГЕОГРАФІЧНОЇ НАУКИ 101.5 KB
  Поняття географічного середовища є основним поняттям географічної науки в цілому тоді як поняття географічної оболонки основним поняттям лише фізичної географії Предметом всієї географії виступає географічне середовище всього суспільства.
73520. ПРОБЛЕМА ВИЗНАЧЕННЯГЕОГРАФІЧНОЇ КАРТИНИ СВІТУ 59.5 KB
  Наукова картина світу як цілісна система уявлень про загальні особливості та закономірності, що виникають у результаті узагальнень і синтезу основних наукових понять і принципів, вміщує теоретичні уявлення і методологічні вимоги, що мають відносну стійкість упродовж тривалого часу
73521. Подсистема анализа в производственном менеджменте 1.11 MB
  Метод цепных подстановок это способ определения влияния различных факторов на обобщающие показатели путем последовательной замены базового значения каждой составляющей показателя согласно формуле расчета обобщающего показателя на анализируемое значение.
73522. Подсистема мотивации в производственном менеджменте 148.5 KB
  Сущность область применения разных форм и систем оплаты труда. Расчет фонда оплаты труда при различных системах оплаты труда. Увеличение производительности труда явившееся результатом использования этого метода мотивации в сочетании с более эффективным применением специализации и стандартизации было впечатляющим. Системы организации заработной платы и стимулирования на предприятиях Предприятия самостоятельно разрабатывают и утверждают формы и системы оплаты труда.
73523. Подсистема принятия решений в производственном менеджменте 122 KB
  Сущность значения и роль принятия решений в производственном менеджменте Менеджером можно назвать человека только тогда когда он принимает организационные решения или реализует их через других людей. Необходимость принятия решения пронизывает все что делает управляющий формулируя цели и добиваясь их достижения. Как способность к коммуникациям так и способность принимать решения это умение развиваемое с опытом. В управлении принятие решения более систематизированный процесс чем в частной жизни.
73524. Управление подготовкой производства. СПУ 394.5 KB
  Разработка расчет и оптимизация сетевых моделей. Управление разработками при помощи СПУ. Понятия событие работа путь сеть и сетевой график. Понятие и расчет полного резерва времени работы.
73525. Планирование организации взаимодействий в производственном менеджменте 161 KB
  Планирование организации взаимодействий в производственном менеджменте Изучаемые вопросы. Сущность и роль организации взаимодействий в управлении. Цель лекции: Уяснение назначения сущности и роли организации взаимодействий в производственном менеджменте. Роль организации взаимодействий в менеджменте.