6808

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Лабораторная работа

Физика

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічн...

Украинкский

2013-01-08

66.5 KB

4 чел.

Одержання тонкоплівкових структур термічним випаровуванням у вакуумі

Ціль роботи: ознайомлення з методом осадження тонкоплівкових покриттів з пари речовини, що випаровується у вакуумі. Робота містить у собі одержання металевих плівок методом термічного вакуумного напилювання і їхнє дослідження набором методів.

Основна мета роботи: експериментально одержати тонкоплівкову структуру, визначити основні характеристики.

Технічне завдання

  1.  Вивчити основні методи вакуумного напилювання тонких шарів металу.
  2.  Ознайомитися з лабораторною установкою й технікою експерименту.
  3.  Досліджувати процес розпилення металу у вакуумі.
  4.  Одержати металеву плівку й визначити її основні характеристики.
  5.  Зробити аналіз і висновки за результатами роботи.
  6.  Підготувати відповіді на контрольні питання.

Схема установки


Результати експерименту

Температура випарника, OC

Температура підкладки, OC

Товщина плівки,
мкм

Тип плівки

1000

300

23,0

аморфна

1000

750

21,1

полікристалічна

1200

1050

18,2

монокристалічна

Аналіз результатів та висновки

  1.  Час напилення зменшується із збільшенням температури випарника та збільшується із збільшенням температури підкладки. Осадження плівки відбувається при умові, що
  2.  Від температури підкладки залежить тип плівки, що утворюється: при високих температурах утворюється монокристалічна плівка; при більш низьких — полікристалічна; при подальшому зменшенні температури — аморфна.
  3.  Опір плівки залежить від кількості дефектів у кристалічній структурі (монокристалічна плівка має найменший опір, аморфна — найбільший). Тому можна сказати, що опір тим менший, чим більший час напилення плівки.
  4.  Товщина плівки залежить від її структури (монокристалічна плівка має найменшу товщину).


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

28501. Типи вогнегасників, які використовуються в закладах освіти 21.13 KB
  Типи вогнегасників Вогнегасники розрізняють за способом спрацьовування: автоматичні стаціонарно монтуються в місцях можливого виникнення вогню. У залежності від акумуляторної вогнегасної речовини вогнегасники поділяються на п'ять видів: вуглекислотні повітрянопінні порошкові водні аерозольні. Вогнегасники маркуються буквами що характеризують вид вогнегасника і цифрами що позначають його місткість. Вогнегасники технічні пристрої призначені для гасіння пожеж в початковій стадії їх виникнення.
28504. Орієнтований перелік питань вступного інструктажу для учасників навчально – виховного процесу 11.54 KB
  Орієнтований перелік питань вступного інструктажу для учасників навчально виховного процесу. Програма та тривалість інструктажу затверджується керівником підприємства. Запис про проведення вступного інструктажу робиться в журналі реєстрації вступного інструктажу який зберігається в службі охорони праці або в працівника що відповідає за проведення вступного інструктажу а також у документі про прийняття працівника на роботу.