71582

Установки для вакуумного напыления (ВН) покрытий (Пк)

Лекция

Производство и промышленные технологии

Многолучевая интерферометрия применяется для измерения hпк непрозрачных Пл и основана на наблюдении в микроскоп интерференционных полос возникающих при рассмотрении в монохроматическом свете двух Пв расположенных под углом друг к другу. Под микроскопом сдвиг интерференционных полос l...

Русский

2014-11-09

145 KB

1 чел.

Установки для вакуумного напыления (ВН) покрытий (Пк)

 Установки периодического действия применяются для отработки режимов ВН и мелкосерийного производства однотипных, мелких изделий типа интегральных микросхем (ИМС), режущего инструмента (РИ) и др.

Установки с резистивным нагревом типа «УВН-2М» предназначены для ВН пленочных элементов и схем. Для напыления Пк в многооперационном варианте предусмотрены карусели испарителей, подложкодержателей (могут быть и планетарного типа) и масок. Максимальная температура плавления испаряемого или распыляемого материала (РМ) – 1500 °С.

Установки с электронно-лучевыми испарителями (ЭЛИ) типа «УЭ-137» разработаны для напыления защитных пленок на лопатки газотурбинных двигателей (ГТД). Многотигельный испаритель (2 – для испарения металлов (Ме) и сплавов и 3 – для химических соединений) позволяет напылять композиционные жаростойкие (ЖС), теплозащитные (ТЗ) и другие Пк. Установка имеет 3 камеры: рабочую, вспомогательную (шлюзовую) и камеру для ЭЛ пушек (5 – для испарения и 1 – для нагрева изделий). Контроль температуры напыляемой поверхности (НП) осуществляется пирометром.

В установках с дуговым испарением (распылением) типа «Булат», «Пуск», «Юнион» и др. дуговой разряд возбуждается между водоохлаждаемым анодом и РМ-катодом (может быть и несколько испарителей) посредством вспомогательного электрода. Для экстракции ионов из плазмы на НП подается отрицательное смещение до 2-3 кВ. Основное применение этих установок – упрочнение РИ с использованием реактивного вакуумного напыления (РВН).

Установки для ионного распыления (ИР) типа «УВН-Р» распространены  для ВН тонкопленочных Пк конструктивного назначения: резисторов, ИМС и др.

Часто применяются установки смешанного типа с использованием нескольких методов, например ИР и термовакуумного испарения (ТВИ), типа «УВН-75Р-2» (рис. 1). В них восьмипозиционная карусель 1 обеспечивает транспортировку напыляемых изделий 2 из бункера 3. ЭЛИспарение осуществляется в испарителе 4, а ИР – путем катодного распыления мишени 5 (6 – экран). Для подогрева НП служит нагреватель 7. Предусмотрены вакуумплотные вводы высокого и низкого напряжения U, вводы вращения, электропитание тлеющего разряда – ТР (200мА, 5 кВ) и ЭЛИ (200 мА, 10 кВ). Модификация УВН-75П-1 обеспечивает ИР, как на постоянном, так и на переменном токе.

Рис. 1

         7

         1

          2

                   5

                             3                                                                                 6

                                           4

Установки полунепрерывного действия. В установках периодического действия время конденсации, как правило, составляет малую долю общего цикла ВН, а большая его часть идет на откачку и другие вспомогательные операции. В установках полунепрерывного действия рабочий объем не сообщается с атмосферой при загрузке и выгрузке изделий за счет применения шлюзовых камер. В рабочей камере периодически осуществляется ВН, а в шлюзовой камере в это время происходит выгрузка и загрузка изделий. Более производительны установки с двумя шлюзовыми камерами.

Установки непрерывного действия обеспечивают максимальную производительность при ВН. Одновременно решаются проблемы ведения процесса в идентичных условиях, сообщения рабочей камеры с атмосферой, нет необходимости в остановке испарителей, вакуумной системы. Экономический эффект может быть получен лишь в условиях массового производства. На рис. 2 приведен пример установки для ВН Пк на ленту 4.Она состоит из механизма протяжки 1, нескольких шлюзов 2 (с дифференциальной откачкой) на входе и выходе рабочей камеры 3. Для уменьшения натекания воздуха в шлюзы предусмотрены герметизирующие устройства – это наиболее ответственные узлы.

        Рис. 2

                                                                         3  

                                    2                                                                2

                                                                        

                1                                                                                                         1

                           4

 

                                                                      откачка

КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ

И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ ИХ НАНЕСЕНИЯ

Получение вакуумных Пк с заданными свойствами предопределяет необходимость их строгого контроля. Особенности контроля определяются малой толщиной покрытий (пленок) hпк. Параметры пленок (Пл) контролируют непосредственно в процессе их нанесения в рабочей камере и после напыления. В зависимости от назначения контролируют 1 или 2 параметра Пк.

Измерение толщины пленок 

Наиболее распространенные методы для вакуумных Пк – микровзвешивание и многолучевая интерферометрия.

Микровзвешивание состоит в определении приращения массы m после ВН. Среднюю толщину пленок (покрытий) hпк определяют по формуле:

hпк = m/(Fпкпк),    (1)

где Fпк – площадь Пк на НП; пк плотность Пк (считается, что она равна плотности РМ, т. е. пористость Пк П = 0). Метод несложен, но требует, чтобы форма НП была простой, а ее поверхность (Пв) имела малую шероховатость. Чувствительность метода составляет от 1 до 10 мкм и зависит от величины Fпк и точности весов.

Многолучевая интерферометрия применяется для измерения hпк непрозрачных Пл и основана на наблюдении в микроскоп интерференционных полос, возникающих при рассмотрении в монохроматическом свете двух Пв, расположенных под углом друг к другу. Перед измерением на образце получают «ступеньку» Пл на подложке. Для этого маскируют часть подложки при ВН или химически удаляют часть Пл. Под микроскопом сдвиг интерференционных полос l замеряют, а затем рассчитывают hпк по формуле:

hпк = 0,5(l/L),     (2)

где c – длина волны монохроматического света (0,54 мкм); L – шаг между соседними полосами (рис. 3 а). Точность метода составляет 1530 нм. Если Пл прозрачная, в месте «ступеньки» на нее дополнительно осаждают непрозрачную металлическую Пл, (например алюминиевую), толщина которой должна быть много меньше измеряемой hпк.

Измерение электрического сопротивления пленок

Измерение проводят в процессе ВН (например при контроле изготовления резисторов гибридных ИМС) с помощью датчика с внешним измерительным прибором. Метод основан на том, что по мере утолщения Пл ее сопротивление R уменьшается. Для этого (рис. 3 б) предварительно изготавливают контрольную подложку (свидетель) 1 из изолятора (стекла, ситалла), на которую наносят контактные площадки 2 из серебра или другого хорошего проводника. Свидетель устанавливают в рабочей камере в непосредственной близости от НП 3. Пк наносят на них одновременно.

   L         l  1

         2

          а)         б)

        3

Рис. 3

       1

            2

          3

  1.  в)

        4

                                          6

  1.  7                      

Сопротивление свидетеля R регистрируется внешним прибором. При достижении заданного R напыление прекращается. Погрешность измерения этим методом составляет ±10 % и определяется неравномерностью толщины покрытия hпк. Толщина и сопротивление связаны формулой:

hпк = (ρ·l)/(R·h),     (3)

где ρ – удельное сопротивление Пк; l и h – длина и ширина Пл на свидетеле. Чувствительность метода составляет 15 нм, а максимальная hпк – около 1 мкм. При этом считают, что ρ равно таковому для компактного Ме. Точность измерений hпк этим методом невелика.

Измерение адгезии пленок

Прочность сцепления покрытий с основой hпк часто называют адгезией, для что тонких Пл вполне корректно. Она зависит от материала основы и Пк, его толщины hпк, скорости напыления Vн, температуры Тнп и чистоты напыляемой поверхности.

Точно определять σсц в условиях производства весьма проблематично. Сравнительный контроль осуществляют, измеряя усилие отрыва Пл от подложки, напаянным на ее Пв металлическим цилиндром. В центре свободного торца цилиндра закрепляют гибкий тянущий троссик. σсц определяют по усилию отрыва Р и точной площади контакта Fк:

σсц = Р/Fk,      (4)

при этом необходимо исключать перенос цилиндра. Обычно площадь торца составляет 1 мм2. Измерение следует проводить несколько раз, контролируя место отрыва.

Разновидность этого метода – контроль по отрыву металлического Пк от подложки с помощью тонкой Au или Al проволоки, присоединяемой к Пк диффузионной сваркой. Обычно Fк составляет 50200 мкм2, что позволяет определять адгезию локальных участков Пк.

 

 Измерение скорости напыления

Наиболее распространен контроль скорости напыления Vн методом кварцевого датчика, который иногда называют резонансно-частотным методом (датчик включен в контур генератора частоты). Принцип действия кварцевого датчика основан на зависимости резонансной частоты, а точнее ее уменьшения Δf, от изменения массы кварцевого элемента Δm при напылении на его Пв покрытия. С увеличением массы датчика частота его колебаний уменьшается. Для линейного участка зависимости справедливо:

Δf/fо = Δm/mо,     (5)

где fо – резонансная частота; mо – масса датчика до нанесения Пк. Так, рассчитывая скорость сдвига резонансной частоты, фиксируемой прибором, определяют Vн.

Основной частью кварцевого датчика (рис. 3 в) является кварцевый элемент 5, круглый или квадратный, с напыленными контактами из Au или Ag. Он крепится на изоляторе 4 и закрывается кожухом 3, который вставляется в массивный держатель 2, охлаждаемый трубкой 1 с проточной водой. В кожухе и держателе имеется отверстие 6 для пропускания потока напыляемых частиц (НЧ) 7 к кварцевому элементу. Необходимость охлаждения вызвана тем, что fо кварца чувствительна к изменению температуры. Этим методом можно также измерять hпк, используя формулу:

hпк = mо·Δf/(fо·ρпк·Fпк).     (6)

Точность измерений hпк металлических и неметаллических Пк в интервале толщин 10 нм 5 мкм составляет ±10 %. Выпускаемые приборы позволяют задавать требуемую hпк, после нанесения которой подается сигнал, останавливающий процесс. Максимально допустимая hпк, наносимого на кварцевый датчик, составляет ~20мкм (для Al Пк), но ее можно увеличить, перекрывая периодически отверстие 6 экраном 8. Недостатком метода кварцевого датчика является то, что помимо градуировки по осаждаемому материалу необходимо также периодически очищать кварцевый элемент от осаждаемого покрытия.

Контроль пористости покрытий

Коррозионно-защитная способность Пк при высокой коррозионной стойкости (КС) самого материала Пк целиком зависит от его пористости (П). По размерам поры делят на микропоры (r < 1,5·10-3 мкм), макропоры (> 0,1 мкм) и поры промежуточных размеров (принято для гальванических Пк). Поры могут быть закрытыми и открытыми, а открытые – сквозными и несквозными (тупиковыми), иметь разнообразную форму – точечную и канальную.

Наличие пор различных типов, формы и размеров затрудняет получение характеристик пористости. Наиболее просты коррозионные методы измерения П. Они заключаются в обработке Пк специальным раствором, который не действует на материал Пк, но реагирует через поры с Ме основы, образую видимые продукты реакции в виде точек, количество которых подсчитывают. Аналогично о сквозной П можно судить по числу очагов коррозии на Пв покрытия при испытаниях в атмосферных условиях или климатической камере, по пузырькам выделяющимся при погружении образца в раствор и т.д.

Весьма распространен метод обнаружения пор при помощи реактивов, образующих с основным Ме окрашенные соединения. Наиболее универсальный реагент в этом отношении – раствор красной кровяной соли K3Fe(CN)6 (железосинеродистый калий), который применим для определения пористости Cu, Ni, Cr, Sn, Pb, Ag, Au, а также для многослойных Пк на стальной основе. Например, раствор 10 % K3Fe(CN)6 + 20 % NaCl через 10 мин дает желтые точки для пор до Ni, красно-бурые – до Cu и синие – до стали для многослойного покрытия Cu-Ni-Cr.

Наиболее распространен метод наложения (или смазывания) фильтровальной бумаги, смоченной специальным раствором, или пасты определенного состава (ГОСТ 9.302-79). После снятия фильтровальной бумаги подсчитывают отпечатки пор. Для мелких профилированных деталей применяют метод заливки раствором (K3Fe(CN)6 + NaCl + желатин).

Для ускорения растворения металла в порах образец иногда подвергают анодной (А) поляризации. Катодную (К) поляризацию используют при низкой проводимости Пк (например, для анодированных деталей) для осаждения индикаторного Ме (например, Cu – красные точки) в порах, или выявления пор по числу пузырьков H2, выделяющегося в порах. Анодной поляризацией выявляют поры в Sn Пк на Cu и латуни, а также для Zn и Cd Пк на Стали. В местах пор после испытания появляются синие точки. Подсчитывая их, определяют число пор на 1 см2.

Электрографический метод – разновидность коррозионного метода. При определенном потенциале Ме основы растворяется через поры Пк, а продукты растворения образуют при взаимодействии с проявителем окрашенный отпечаток. На фотобумагу 3 (рис. 4) накладывают фильтровальную бумагу 4, затем фотобумагу желатиновой стороной накладывают на покрытую Пв образца 2 и зажимают между двумя электродами(1 и 5) в прессе, после чего замыкают цепь. Через 15 с фотобумагу отделяют и проявляют соответствующим раствором. Для профилированных образцов используют заливку гипсом или покрытие слоем желатина. Цветные пятна можно подвергнуть количественному анализу.

Рис. 4           Р = 0,1-0,2 МПа

   5      (–)

   4

   3

   2

  1.  (+)

Другой графический метод с применением потенциостата (1,5-1,7 В) основан на использовании реакции окисления ионов иода на аноде. Образующийся иод дает синее окрашивание с крахмалом и эта реакция очень чувствительна. Для закрепления в раствор крахмала добавляют желатин.

Такие методы определения П защитных и защитно-декоративных Пк, как фотографический, радиохимический, адсорбционный и метод газопроницаемости рекомендуют для специальных исследований. Рассмотренные методы нельзя использовать для пор большой протяженности и извилистости, например, в износостойких (ИС) Cr покрытиях.

Используют также визуальный метод сравнения поверхности Пк с эталонами с помощью микроскопа. Для получения эталонных образцов используют метод планиметрирования: на увеличенных микрофотографиях планиметром измеряют площадь пор и выражают в % к общей площади измеряемого участка, получая значение П.

Используют также метод контактных отпечатков, заключающийся в обработке пор в Пк специальной пастой с Na2SO3 и последующем их отпечатывании на фотобумаге в виде черных точек. П в процентах определяют по градуировочной кривой подсчетом числа точек на 1 мм2.

Достаточно точен метод ртутной порометрии. Им можно определить объем пор Vп с эффективным радиусом r от 0,1 нм до 35 мкм. Ртуть вдавливают в поры специальным поромером. При этом можно определить общий объем пор Vп и их диаметр dп. А также Vп, соответствующий определенному dп.

Применяют также метод маслоемкости, весовой и капельный. Весовым методом определяют массу впитавшегося масла (например, авиационного), отнесенную к 1 дм2 площади Пк. Взвешенный образец пропитывают маслом в течении 1-1,5 ч при температуре 80 °C, затем тампоном снимают лишнее и вновь взвешивают. Капельным методом маслоемкость определяют по продолжительности впитывания капли очищенного керосина, наносимой калиброванной пипеткой с высоты 1 см. По градуировочной кривой ее можно перевести в абсолютную маслоемкость (количество масла на 1 дм2 поверхности Пк).

Контроль коррозионной стойкости (КС) покрытий

КС можно оценивать качественно или количественно. К качественным относятся, например, визуальный метод и микроисследования. Они применяются, когда продукты коррозии (Кр) нерастворимы.

Наиболее простые количественные показатели время до появления 1-го коррозионного очага и их число на единицу площади Пв; изменение механических свойств и электрического сопротивления материала, отражательной способности Пв.

Широко применяют метод определения потерь массы Км и уменьшения толщины Пh (глубинный показатель Кр). Трудность их применения заключается в необходимости удаления с образцов продуктов Кр, не затрагивая самого Ме. Глубинный показатель Пh (мм/год) пересчитывают на массовый Км (г/м2ч) по формуле:

Пh = 8,76 Км/ρ,     (7)

где ρ – плотность металла Пк (г/см3).

Наиболее корректны натурные испытания в естественных условиях, но их продолжительность очень велика. В производственных условиях ограничиваются ускоренными Кр испытаниями.

Наиболее прост метод погружения (полного и неполного). В одном сосуде испытывают один образец (или несколько параллельных), количество раствора на 1 см2 Пв – 20200 мл. Испытания ускоряют перемешиванием раствора или переменным погружением. Время пребывания в коррозионном растворе и на воздухе задают как 1:1; 1:10; 10:1.

Для испытания в условиях приближающихся к атмосферной Кр, применяют ускоренные испытания в климатических камерах влажности (КК) и камерах солевого тумана (КСТ).

Для проверки КС многослойных Пк Ni-Cr и Сu-Ni-Cr на стали и цинке применяют метод Корродкот:

1) на очищенную Пв покрытия наносят примерно 50 мкм слой пасты состава 0,99 г FeCl3 + 1,21 г Cu(NO3)2 + 6 г NH4Cl + 180 г каолина + 300 г воды;

2) пасту просушивают на образцах в течение 1 часа;

3) образцы с сухим слоем пасты помещают в КК на 16 час при температуре
38 °C и 80-90 % влажности;

4) образцы очищают от пасты и выявляют места повреждения по следам Кр. Для их повторного выявления образцы выдерживают в КК или КСТ. Корродкот существенно ускоряет климатические испытания.

Контроль твердости (Н) покрытий

Твердость металла Пк больше Н соответствующих Ме в литом состоянии. Наиболее точный метод – измерение микротвердости Нμ на приборах типа ПМТ-2 или ПМТ-3, заключающийся во вдавливании алмазной пирамидки при нагрузке Р = 0,022 Н и измерении диагоналей полученного ромбического отпечатка окуляр-микрометром. Нμ (Н/мм2)определяют по формуле:

Нμ = Р/FПв отпечатка  = 2Рsin(/2)d2 =1,854P/d2    (8)

где = 136 – угол при вершине пирамиды между противоположными гранями;

d – среднее арифметическое диагоналей отпечатка, мм. В обозначении Нμ указывают индекс, соответствующий нагрузке или длине диагонали (Н50, Н10мкм). Нμ можно определить вдавливанием пирамиды перпендикулярно Пк либо на поперечном шлифе. Важен минимальный наклеп при подготовке Пв образца (например, электрополирование). Нагружение должно быть плавным и медленным, а выдержка под нагрузкой превышать 515 с. Минимальная hпк при измерении Нμ определяется по формуле:

hmin = (Н1 - H2)·d/(420·107),    (9) ,

где Н1 и H2 – микротвердости Пк и основы при d = 10 мкм, d – фактическая длина диагонали отпечатка, мкм.

Элементный состав покрытий определяют с помощью химического, спектрального, микрорентгеноспектрального зондового анализа, а фазовый состав – с помощью рентгенофазового анализа.

ПРИМЕНЕНИЕ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ

Технологию ВН различными методами целесообразно рассматривать по группам материалов со сходными физико-химическими свойствами: чистые металлы, металлические сплавы, соединения металлидного типа, металлоидные соединения, оксиды.

При ВН чистых металлов (можно напылять практически любые металлы) состав Пк мало отличается от состава РМ. Большое распространение получили КС Пк из Al, Zn, Ni, Cr, Cu и др., причем исключается наводороживание присущее гальваническим Пк, в частности хромовым, и взаимодействие с атмосферой, присущее газотермическому напылению (ГТН). ВН чистых металлов применяют также для технологических и декоративных целей.

При ВН металлических сплавов избирательное испарение его компонентов приводит к возникновению градиента концентрации по hпк. Однородные многокомпонентные Пк получают с помощью различных приемов, таких как дискретное взрывное испарение, раздельное испарение компонентов сплава и др.

В настоящее время большинство металлидных Пк получают ГТН-ем, хотя нет принципиальных трудностей и при ВН таких Пк.

При напылении соединений металлоидного типа с помощью ТВИ следует учитывать, что в процессе испарения происходит диссоциация молекул большинства соединений, и получение Пк прямым испарением без изменения состава возможно лишь при условии одинаковой летучести продуктов диссоциации. Так происходит при ЭЛИ TiC, ZrC, NbC, TiB2, ZrB2 и др. Наоборот, при испарении WC, SiC, AlN и ZrN летучесть продуктов диссоциации резко отличается и необходимо использовать раздельное испарение или методы РВН. В меньшей степени эти процессы проявляются при ВН методами ионного распыления.

Для создания тонких нитридных Пк (hпк = 1100 мкм) наибольшее распространение получили методы РВН в присутствии N2. Нитридным соединениям свойственны широкие области гомогенности – до 13-16 % у TiN и ZrN соответственно. Соответствующий нитриду металл испаряют или распыляют в среде N2. Вероятность столкновения атомов Ме и N в газовой фазе при давлении в камере Рк ≈ 10-2 Па весьма мала (длина свободного пробега lсп ≈ 50см ), и реакция образования нитридов в основном проходит на НП. Расчеты показывают, что одинаковое количество столкновений Ti и N с НП будет происходить при парциальном давлении рN2 = 0,08 Па. Реакцию между ними можно стимулировать активацией и ионизацией атомов. Это легко достигается при дуговых способах ВН и магнетронном ИР. Концентрацию азота в Пк регулируют изменением парциального давления N2 и величиной отрицательного смещения (потенциала), подаваемого на НП. Для повышения качества нитридных Пк изменяют рN2 в процессе ВН, а следовательно и концентрацию азота по толщине Пк. Первые слои осаждаются практически из чистого металла, далее концентрация N2 увеличивается и доводится до стехиометрического значения нитрида.

Три основных этапа напыления нитрида:

  1.  обработка в ТР для очистки НП и ее подогрева до 250-280 °C:
    Pк = 510-2 110-1 Па; разрядное напряжение Uр = 2-2,2 кВ, разрядный ток Iр = 0,05-0,5 А; продолжительность обработки  = 7-20 мин;
  2.  ионная бомбардировка с целью окончательной очистки и активации Пв: Pк = (2-3)10-1 Па; ток дуги Iд = 75-80 А;  = 1-5мин;
  3.  напыление нитрида: рN2 = (2-3)10-1 Па; Iд = 70-120 А; температура напыляемой поверхности Tнп = 400-450 °C;  = 6-10 мин.

Для ВН оксидных Пк наиболее целесообразно использовать РВН, при этом в рабочую камеру через натекатель подается кислород. Так могут быть получены тонкие чисто оксидные Пк и сложные композиции с добавками различных металлов или соединений металлидного или металлоидного типов в виде отдельных включений, перемежающихся слоев с переменной концентрацией и других сочетаний. Наибольший интерес представляет дуговое распыление в присутствии О2. Однако при таком распылении легкоплавких материалов в потоке НЧ может присутствовать конденсированная фаза и в этих случаях целесообразно использовать ТВИ или ИР. Например, при напылении Пк из Al2O3 дуговым распылением катода из Al начальное (фоновое) Pк = 133·10-5 Па, рО2 выбирают в пределах 532·10-4 1064·10-4 Па – в области, где находятся максимумы зависимостей Нμ = f(рО2) и Vн = f(рО2) (рис. 5 а).

Нμ, ГПа             Vн, нм/с     Нμ, ГПа                         ρ, Омсм

  12    Нμ 3   16    ρ 108

  8     2   12   Нμ  106

  4    Vн 1    8     104

     10-5     10-3        10-1      10  рО2, Па   40  80    120  160      -Uнп, В


  Рис. 5 а     Рис. 5 б

На рис. 5 б приведена зависимость твердости Нμ и удельного сопротивления ρ от отрицательного смещения (Uнп) на НП. Напылению предшествовала очистка НП в ТР.

 

Некоторые области применения ВН

Развитие методов ВН расширило область применения тонких Пл и Пк в технике. Магнетронные схемы позволили поднять Vн до скорости ТВИ. В свою очередь, активация ТВИ низкотемпературной плазмой повысила энергию напыляемых частиц Wнч и, следовательно, качество Пк. Прочно заняв свои позиции в электронике и оптике, тонкие Пл и Пк, получаемые ВН, находят применение при создании слоев со специальными механическими и физико-химическими свойствами. При использовании ионизированных потоков отпадает необходимость нагрева НП, уменьшается цикл напыления и активируется процесс взаимодействия за счет бомбардировки НП ускоренными НЧ. Так, используя конденсацию с ионной бомбардировкой (КИБ), были разработаны процессы напыления ИС Пк на основе нитридов и карбидов титана и других тугоплавких металлов, для повышения стойкости режущего инструмента до 28 раз. Использование магнетронных систем для получения диэлектрических и магнитных Пк из нитридов, карбидов, оксидов и др. дает большие преимущества. ВН применяется и для получения многокомпонентных Пк в электрических контактах.

Ионное осаждение (ИО) достаточно широко применяется в различных отраслях науки и техники, при этом по сравнению с ТВИ значительно повышается σсц, однородность и возможность защиты сложных деталей, при этом уменьшается П. В частности для защиты от Kр покрывают активную зону реактора алюминием; лопатки турбин – сплавом Fe-Cr-Al-Y для защиты от высокотемпературной (ВТ) Кр (75-120 мкм). Al Пк применяют для защиты крепежа из высокопрочных сталей, Ti, Al-x сплавов в условиях морской коррозии, подшипников из КС стали и других сплавов.

Ионные Пк из Al и Au используют для защитно-декоративной отделки деталей часовых механизмов, отделки пластмасс. В ювелирной промышленности ИО используют для декоративной отделки драгоценных камней. Тонкие Пк, наносимые в вакууме, наиболее широко применяют в электронной промышленности для производства дискретных полупроводниковых приборов (диодов, транзисторов) и ИМС, их активных и пассивных элементов, тонкопленочных резисторов и конденсаторов, а также при изготовлении фотошаблонов – основного технологического инструмента микроэлектроники (при производстве печатных плат) Эти операции могут быть заключительными – поэтому особенно важно получение качественных с воспроизводимыми параметрами  тонких Пл, так как брак очень ощутим.


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

33486. Поняття злочину та його ознаки 28 KB
  Злочином є передбачене цим Кодексом суспільно небезпечне винне діяння дія або бездіяльність вчинене субєктом злочину. Три ознаки злочину: суспільна небезпечність діяння винність і передбаченість діяння в законі про кримінальну відповідальність. Суспільна небезпечність як матеріальна ознака злочину полягає в тому що діяння або заподіює шкоду відносинам які охороняються кримінальним законом або містить у собі реальну можливість заподіяння такої шкоди.
33488. Змішана форма вини 28.5 KB
  До таких злочинів належать наприклад порушення вимог законодавства про охорону праці якщо воно спричинило загибель людей або інші тяжкі наслідки ч. 286; порушення чинних на транспорті правил що убезпечують рух якщо це спричинило загибель людей або інші тяжкі наслідки ст. 291; незаконне перевезення на повітряному судні вибухових або легкозаймистих речовин що спричинило загибель людей чи інші тяжкі наслідки ч. У другій групі злочинів складність об'єктивної сторони полягає в тому що передбачене законом умисне діяння спричиняє два...
33489. Помилка в кримінальному праві 27 KB
  Юридична помилка полягає в неправильному уявленні особи про юридичні властивості вчиненого, його правову характеристику
33490. Класифікація злочинів 27.5 KB
  Формальний критерій певний вид і розмір покарання типовий такий що найбільш повно відображає тяжкість конкретної групи категорії злочинів. Так для злочинів невеликої тяжкості закон передбачає як граничний критерій покарання у виді позбавлення волі на строк не більше двох років або інше більш м'яке покарання; для злочинів середньої тяжкості покарання у виді позбавлення волі на строк не більше п'яти років; для тяжких злочинів покарання у виді позбавлення волі на строк не більше десяти років а для особливо тяжких покарання у...
33491. Кримінальна відповідальність 31 KB
  Кримінальній відповідальності підлягає лише особа винна у вчинені злочину або така що умисно або з необережності вчинила передбачене кримінальним законом суспільне небезпечне діяння ч. Ознаки кримінальної відповідальності: 1 це особливий елемент у механізмі кримінальноправового регулювання в межах якого здійснюється реагування держави на вчинений особою злочин; 2 офіційна оцінка поведінки особи як злочину а її самої як злочинця може здійснюватись лише судом в обвинувальному вироку ч. Кримінальну правовідносини що знаменує собою...
33492. Наука кримінального права 30 KB
  Науку кримінального права як систему кримінальноправових поглядів ідей уявлень і понять слід відрізняти від кримінального права як системи сукупності юридичних норм галузі права. Саме наука кримінального права вивчаючи кримінальне законодавство з'ясовуючи його соціальне призначення характер усіх його інститутів їх ефективність виявляє практичне значення кожної норми прогалини в правовому регулюванні досліджує проблеми вдосконалення кримінальноправових норм. Предметом науки кримінального права є такі соціальні явища як злочин і...
33493. Незакінчений злочин 32 KB
  Незакінченим злочином є готування до злочину та замах на злочин ч. У літературі незакінчений злочин нерідко називають: попередньою злочинною діяльністю розпочатим незавершеним злочином невдалою діяльністю у вчиненні злочину. Незакінчений злочин готування до злочину і замах на злочин це не здійснена можливість завдання шкоди об'єкту посягання.
33494. Необхідна оборона 27.5 KB
  підстава необхідної оборони складається з двох елементів а саме: 1 суспільно небезпечного посягання і 2 необхідності е його негайному відверненні чи припиненні Ознаки необхідної оборони визначені в ст. 36 КК характеризують: 1 мету оборони; 2 спрямованість об'єкт заподіяння шкоди; 3 характер дій того хто захищається; 4 своєчасність і 5 співрозмірність оборони. Мета необхідної оборони. 36 КК метою необхідної оборони є захист охоронюваних законом прав та інтересів особи яка захищається або іншої особи а також суспільних...