78371

Кинетика хемостимулированного окисления полупроводников (на примерах кремния и соединений AIIIBV)

Лекция

Химия и фармакология

Целью данной работы являлось установление механизма хемостимулирующего действия ванадия и его оксида на оксидирование GaAs и InP.

Русский

2017-10-11

29 KB

1 чел.

Кинетика хемостимулированного окисления полупроводников (на примерах кремния и соединений AIIIBV)

При собственном оксидировании полупроводников AIIIBV стадии окисления компонентов A и B сопряжены через так называемый «отрицательный реакционный канал». В случае InP в результате оксидирования образуются оксиды индия и фосфора. Помимо этого протекает взаимодействие между оксидом индия и диффундирующим фосфором, в результате чего выделяется индий в свободном состоянии, что ведет к металлизации растущих слоёв на поверхности фосфида индия и испарению оксида фосфора. Для арсенида галлия при оксидировании наблюдается взаимодействие первоначально образующегося оксида мышьяка с галлием, приводящее к накоплению мышьяка на внутренней границе раздела (ГР), что негативно отражается на качестве формируемой гетероструктуры.

C целью увеличения эффективности окисления компонентов полупроводников и улучшения качества оксидных пленок используют хемостимулированное оксидирование AIIIBV . Сущность его заключается во введении в систему веществ-хемостимуляторов, которые, изменяя механизм оксидирования за счет кинетического обхода отрицательного реакционного канала, ускоряют рост пленок на поверхности полупроводника и могут улучшать их характеристики. В качестве хемостимуляторов способны выступать оксиды, сульфиды, хлориды, оксохлориды и некоторые другие соединения. При оксидировании полупроводниковых соединений с летучим компонентом, каковыми и являются AIIIBV , наибольшая эффективность может быть достигнута созданием ограниченного источника хемостимулятора в виде нанесенного слоя. Взаимодействие хемостимулятора с полупроводником может протекать по транзитному и каталитическому механизмам . Транзитное взаимодействие заключается в ускоренной передаче кислорода хемостимулятором или его превращёнными формами компонентам подложки без значимого повторного оксидирования действующего элемента-хемостимулятора, а каталитическое – предусматривает быструю регенерацию высокой степени окисления активного элемента хемостимулятора. В первом случае эффективная энер-гия активации (ЭЭА) процесса может быть как ниже, так и выше по сравнению с таковой для собственного окисления, во втором, при реализации синхронного механизма процесса – заметно ниже. Для осуществления каталитического механизма необходимы наличие у действующего элемента хемостимулятора нескольких стабильных степеней окисления и способность этого элемента переходить из одной степени окисления в другую с достаточ- ной лёгкостью. Каталитическая активность хемостимулятора может сильно зависеть от его кислотно-основной природы, что связано с потенциальной возможностью его связывания в неактивные формы (например, в фосфаты) в течение всего процесса оксидирования. Для выявления закономерностей начального этапа каталитического оксидирования AIIIBV возникает необходимость перехода от сплошных тонкоплёночных структур к от- дельным наноразмерным островкам хемостимулятора на поверхности полупроводника, служащих активными центрами оксидирования подложки. Целью данной работы являлось установление механизма хемостимулирующего действия ванадия и его оксида на оксидирование GaAs и InP.


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

53358. Математическое ассорти 95.5 KB
  Математика и литература не так далеки друг от друга, как многие думают С.В.Ковалевская сочитала математику с поэзией. В ней одновременно жили математик и поэт. Здесь заканчивается текст слайда 4 (слайд 5) Великий русский поэт М.Ю.Лермонтов был большим любителем математики и в своих вольных и невольных переездах из одного места службы в другое всегда возил с собою учебник математики.
53359. ІГРОВІ ТЕХНОЛОГІЇ НАВЧАННЯ 77.5 KB
  Навчальна діяльність підпорядковується правилам гри. Місце й роль ігрової технології в навчальному процесі створення елементів гри й навчання багато в чому залежать від уміння викладача функцій і класифікації педагогічних ігор. Педагогічні ігри За видом діяльності фізичні інтелектуальні трудові соціальні психологічні За характером педагогічного процесу навчальні тренінгові контрольні узагальнення пізнавальні виховні розвиваючі репродуктивні продуктивні творчі комунікативні діагностичні профорієнтаційні ...
53361. Мякі іграшки своїми руками 619.5 KB
  Відмінною особливістю цього заняття є те що з однієї викрійки можна робити найрізноманітніші іграшки додаючи деталі міняючи матеріали і моделюючи вихідну викрійку. Якщо вам потрібно збільшити або зменшити викрійку то візьміть аркуш міліметрового паперу розмітьте його відповідно на великі чи малі квадрати і перемалюйте деталі викрійки зберігаючи в кожному квадраті свій фрагмент малюнка 4 Підбір матеріалів Основними матеріалами для виготовлення напівоб'ємних іграшок є драп сукно та інші тканини з неосипаючими краями. З них краще за все...
53362. Свято дитячої іграшки 71.5 KB
  Обладнання: різноманітні іграшки іграшкові коляски з ляльками мультимедійна презентація. Отже запрошуємо всіх на свято дитячої іграшки танець Вихователь: А зараз давайте познайомимося. Буратіно: А я витягує іграшкову машину лечу по коридору на автомобілі ДАІ i пильно відслідковую порушників коридорного руху штрафую за найменшу провину конфіскую іграшки.
53363. Моя улюблена іграшка 196.5 KB
  The topic under discussion today is “Our toys. In the Toy Shop”. We’ll learn new vocabulary and practice it in speech; we’ll sing songs together, role-play situations, do some exercises.
53364. Рольові ігри на уроках англійської мови 257.5 KB
  Сучасна методика викладає такі ідеї та принципи в навчанні: визнання першорядності процесу пізнання та доступності інформації; цінність співпраці; зокрема використання діалогів полілогів імпровізацій та рольових ігор як основних форм роботи; визнання рівності пізнавальних та творчих можливостей усіх учнів а також свідомої участі учнів у процесі навчання; активна позиція учня в процесі навчання; принцип комунікативності який передбачає побудову процесу навчання як моделі процесу реальної комунікації; урахування...
53365. Ігри на матеріалі економічної термінології, спрямовані на збагачення активного словника та вдосконалення культури мовлення учнів 179 KB
  Методична порада. Для проведення ігор діти класу ділиться на гомогенні або гетерогенні групи. Обирається в кожній групі лідер. Завдання ігрової вправи виконують усі разом, доповідають про виконання тільки лідери. Вимпелом переможця нагороджується та група, яка першою за відведений час виконає правильно завдання.