78371

Кинетика хемостимулированного окисления полупроводников (на примерах кремния и соединений AIIIBV)

Лекция

Химия и фармакология

Целью данной работы являлось установление механизма хемостимулирующего действия ванадия и его оксида на оксидирование GaAs и InP.

Русский

2017-10-11

29 KB

1 чел.

Кинетика хемостимулированного окисления полупроводников (на примерах кремния и соединений AIIIBV)

При собственном оксидировании полупроводников AIIIBV стадии окисления компонентов A и B сопряжены через так называемый «отрицательный реакционный канал». В случае InP в результате оксидирования образуются оксиды индия и фосфора. Помимо этого протекает взаимодействие между оксидом индия и диффундирующим фосфором, в результате чего выделяется индий в свободном состоянии, что ведет к металлизации растущих слоёв на поверхности фосфида индия и испарению оксида фосфора. Для арсенида галлия при оксидировании наблюдается взаимодействие первоначально образующегося оксида мышьяка с галлием, приводящее к накоплению мышьяка на внутренней границе раздела (ГР), что негативно отражается на качестве формируемой гетероструктуры.

C целью увеличения эффективности окисления компонентов полупроводников и улучшения качества оксидных пленок используют хемостимулированное оксидирование AIIIBV . Сущность его заключается во введении в систему веществ-хемостимуляторов, которые, изменяя механизм оксидирования за счет кинетического обхода отрицательного реакционного канала, ускоряют рост пленок на поверхности полупроводника и могут улучшать их характеристики. В качестве хемостимуляторов способны выступать оксиды, сульфиды, хлориды, оксохлориды и некоторые другие соединения. При оксидировании полупроводниковых соединений с летучим компонентом, каковыми и являются AIIIBV , наибольшая эффективность может быть достигнута созданием ограниченного источника хемостимулятора в виде нанесенного слоя. Взаимодействие хемостимулятора с полупроводником может протекать по транзитному и каталитическому механизмам . Транзитное взаимодействие заключается в ускоренной передаче кислорода хемостимулятором или его превращёнными формами компонентам подложки без значимого повторного оксидирования действующего элемента-хемостимулятора, а каталитическое – предусматривает быструю регенерацию высокой степени окисления активного элемента хемостимулятора. В первом случае эффективная энер-гия активации (ЭЭА) процесса может быть как ниже, так и выше по сравнению с таковой для собственного окисления, во втором, при реализации синхронного механизма процесса – заметно ниже. Для осуществления каталитического механизма необходимы наличие у действующего элемента хемостимулятора нескольких стабильных степеней окисления и способность этого элемента переходить из одной степени окисления в другую с достаточ- ной лёгкостью. Каталитическая активность хемостимулятора может сильно зависеть от его кислотно-основной природы, что связано с потенциальной возможностью его связывания в неактивные формы (например, в фосфаты) в течение всего процесса оксидирования. Для выявления закономерностей начального этапа каталитического оксидирования AIIIBV возникает необходимость перехода от сплошных тонкоплёночных структур к от- дельным наноразмерным островкам хемостимулятора на поверхности полупроводника, служащих активными центрами оксидирования подложки. Целью данной работы являлось установление механизма хемостимулирующего действия ванадия и его оксида на оксидирование GaAs и InP.


 

А также другие работы, которые могут Вас заинтересовать

64413. НАЦІОНАЛЬНА СПЕЦИФІКА УКРАЇНСЬКОЇ НАРОДНОЇ КАЗКИ 195 KB
  Запропонована праця стосується виокремлення того своєрідного в українських народних казках що відрізняє їх від казкового епосу інших словянських етносів насамперед білоруського та російського.
64414. Розробка технології знепилювання хвостосховищ гірничо-збагачувальних комбінатів Кривбасу 557.15 KB
  Технологія видобутку корисних копалин з подальшим збагаченням бідних руд що існує насьогодні потребує великих територій під облаштування спеціальних місць для розміщення відходів збагачення хвостів.
64415. Патогенетичне обґрунтування способу лікування загострень хронічного періодонтиту 145.5 KB
  У останнє десятиріччя не дивлячись на значне збільшення обєму та якості стоматологічної допомоги кількість пацієнтів з гострими запальними захворюваннями щелепнолицевої ділянки та шиї не зменшується...
64416. ІМУНОТОКСИЧНА ДІЯ СВИНЦЮ І КАДМІЮ ЯК ГІГІЄНІЧНА ПРОБЛЕМА 311.5 KB
  Одним з головних завдань профілактичної медицини, зокрема гігієни праці та промислової токсикології, є дослідження впливу хімічних чинників на організм працюючих, обґрунтування ранніх...
64417. Садові листовійки – філофаги в насадженнях яблуні та регулювання їх чисельності в Передгірному Криму 578 KB
  Останнім часом йде реконструкція старих насаджень поява садів нового типу за сучасними схемами посадки типами крони сортовим складом що відбивається на формуванні фауни листовійок у садових агроценозах.
64418. ЕФЕКТИВНІСТЬ СИСТЕМ ІНЖЕНЕРНОГО ЗАХИСТУ ВІД ПІДТОПЛЕННЯ САМОПЛИВНОГО ТА ПРИМУСОВОГО ТИПУ ТА НАПРЯМИ ЇХ УДОСКОНАЛЕННЯ 7.36 MB
  В Україні істотно поширені процеси підтоплення сільськогосподарських угідь і сільських населених пунктів, які супроводжуються підйомом рівня ґрунтових вод (РҐВ) та зумовлюють низку негативних процесів.
64419. КОМПЛЕКС ФІТОНЕМАТОД АГРОЦЕНОЗІВ ХМЕЛЮ ТА ЗАХОДИ РЕГУЛЯЦІЇ ЇХ ЧИСЕЛЬНОСТІ В ЗОНІ ПОЛІССЯ ТА ЛІСОСТЕПУ УКРАЇНИ 394.5 KB
  Тому одним із основних заходів збільшення валового збору хмелю і поліпшення його якості є надійний захист насаджень від патогенних організмів серед яких одними з найменш вивчених є паразитичні нематоди.
64420. РОЗВИТОК МЕТОДІВ МОДЕЛЮВАННЯ ТЕХНІЧНИХ ЗАСОБІВ ЕНЕРГОЗБЕРЕЖЕННЯ СИСТЕМ УПРАВЛІННЯ ДЛЯ ТЕПЛОВОЗНИХ ДИЗЕЛЬ-ГЕНЕРАТОРІВ 649 KB
  Питання підвищення енергозбереження тепловозних силових установок в умовах стрімкого зростання цін на дизельне паливо в Україні і інших країнах розглядається як одне з першорядних.
64421. ФОРМУВАННЯ ІНСТИТУТУ КОНСОЛІДАЦІЇ ПОЛІТИЧНОЇ ЕЛІТИ В СУЧАСНІЙ УКРАЇНІ 210.5 KB
  В аспекті вивчення шляхів формування демократичної політичної еліти яка ефективно здійснює державне управління з метою реалізації національних інтересів важливе місце займає дослідження інституційних...